ASML "올해 EUV 장비 40대 공급"

제조 기간 단축 위해 0.33NA 제품 로드맵 추진

2021-01-21 김동원 기자

피터

ASML이 올해 EUV 노광장비 공급 수량을 40대로 예고했다. 지난해엔 총 31대 장비를 공급했다고 밝혔다. 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 20일(현지시간) 열린 2020년 4분기 실적발표 컨퍼런스 콜에서 "지난해 31대의 EUV 시스템을 공급해 45억유로(약 6조원) 매출을 올렸다"면서 "올해는 EUV 시스템에서 58억유로(약 7조7000억원) 매출이 기대된다"고 말했다. 베닝크 CEO는 EUV 제조 기간 단축을 위한 노력도 하고 있다고 밝혔다. 그는 "EUV 0.33NA 제품 로드맵을 지속 추진해갈 것"이라며 "현재 0.33 성능이 향상됐고 2022년에 최초 인증 시스템을 갖출 예정"이라고 말했다. EUV 시스템은 반도체 미세공정에 꼭 필요한 장비다. 원천기술을 바탕으로 ASML이 독점 공급하고 있다. 1대당 가격이 1500억원에 달한다. 삼성전자와 TSMC 등 반도체 기업은 미세공정 경쟁력 확보를 위해 이 장비 구매에 열을 올리고 있다. 이재용 삼성전자 부회장은 지난해 10월 직접 ASML 본사로 찾아가 EUV 장비 확보에 나서기도 했다. ASML은 지난해 EUV 노광장비 판매에 힘입어 역대 최대 실적을 달성했다. ASML이 발표한 지난해 매출액은 140억 유로(약 18조7000억원)로 전년보다 18.6% 늘었다. 같은 기간 순이익은 36억 유로로 38.5% 증가했다. EUV 장비 관련 매출이 전체 매출의 43%를 기록했다. 전년도 비중은 31%였다. 베닝크 CEO는 "4분기에 9대의 EUV 시스템을 선적했고, 이 중 8대의 시스템을 4분기 매출로 반영했다"고 설명했다. 이어 "4분기의 예약 매출액은 42억 유로를 기록했다"면서 "여기엔 11억 유로의 EUV 시스템 6대에 대한 금액이 포함됐다"고 덧붙였다. 그는 올해 실적 전망도 긍정적으로 전망했다. 베닝크 CEO는 "올해 역시 로직 반도체의 강한 수요와 메모리 부분의 시장 회복이 지속해 성장할 수 있는 한 해가 될 것으로 예상한다"며 "정보기술(IT)인프라, IT소비재, 자동차, 산업 분야의 기술 혁신이 반도체 산업의 성장을 이끄는 중요한 요소로 ASML의 모든 사업 분야에 긍정적인 수요를 창출할 것"이라고 전망했다.