<자막원문>
한: 안녕하십니까 디일렉 한주엽입니다. 오늘 오로스테크놀로지 이준우 대표님 모시고 회사의 전반적 경쟁력에 대해서 얘기를 들어보겠습니다. 안녕하십니까.
이: 안녕하십니까. 초대해주셔서 감사합니다.
한: 요즘 한창 바쁘실 것 같아요. 상장 준비 하시느라고 여의도를 엄청 왔다 갔다 하시면서 IR도 하는 와중에 저희 사무실 방문해주셨는데. 지금 상장 일정이 어떻게 됩니까?
이: 최근 증권거래소 신고한 상태이고.
한: 신고서를?
이: 네. 그리고 금융감독원에 지금 검토를 받고 있는 단계인데. 검토가 끝나고 나면 저희 주관사하고 협의해서 일정대로 진행할 예정입니다.
한: 대략 한 2월 말 정도에 상장되는 걸로 그냥 러프하게 보면 됩니까?
이: 그 정도로 보시면 됩니다.
한: 오로스테크놀로지는 저는 잘 아는데. 뭐를 만드는 회사입니까?
이: 오로스테크놀로지는 반도체 전공정 중요한 계측기인 오버레이라는 것을 개발하고 생산하는 회사입니다.
한: 오버레이를 하는 장비. 오버레이 계측장비를 개발하고 생산하는 회사인데. 회사 설립된 지는 좀 됐죠?
이: 저희가 2009년 4월에 회사가 설립되었고, 오로스라는 이름으로 설립되었습니다. 그리고 1년이 지난 뒤에 오로스테크놀로지로 상호를 변경하게 되었습니다.
한: 지금 회사는 최대 주주가 별도로 다른 회사로 되어있죠?
이: 네. 모회사인 에프에스티(FST)가 최대 주주로 되어 있습니다.
한: 에프에스티(FST)도 상장된 회사 아닙니까?
이: 맞습니다.
한: 회사가 설립된 지는 오래되었고. 2009년에 설립되었으니 10년이 넘은 회사이고 작년 매출은 지금이 2021년 초니까 작년 매출은 아직 다 안 나왔을 텐데 2019년 매출은 어느 정도나 됐어요?
이: 2019년은 270억원 정도.
한: 270억원 정도.
한: 작년 매출은 아직 안 나왔는데.
이: 작년은 지금 올해 3월이 되어야 최종 결산이 될 거고요. 아마 증권신고서를 작성할 당시 3Q까지. 그때 기준으로는 매출 145억원에 영업이익 40억원 정도 됩니다.
한: 대표님은 오로스테크놀로지 대표를 하기 전에, 무슨 일 하셨습니까?
이: 저는 물리학을 전공했고요. 반도체 이전에 글로벌 IT 대기업에서 10년간 시스템 개발연구원으로 일을 했었고. 그리고 미국 실리콘밸리의 본사를 둔 나노메트릭스.
한: 나노메트릭스.
이: 나노메트릭스도 역시 반도체 MI 쪽의 전문 회사입니다.
한: MI가 지금.
이: MI(Metrology& Inspection)이라는 약자이고. 한국말로 굳이 하면 계측 그리고 검사 이렇게 보면 됩니다. 그쪽 분야에서 수석연구원으로 10년간 일을 하면서 반도체 일은 다양한 경험들을 하게 되었었습니다.
한: 오버레이 장비는 일반인 분들이 들었을 때 굉장히 생소하다고 느낄 수 있는데 어떤 역할을 하는 장비입니까?
이: 오버레이는 결국에는 상부. 반도체 칩이라는 게 계속 적층을 쌓아 나아가는 과정인데 각 층마다 원래 설계에 의도된 대로 그대로 정확하게 쌓아져야 하는데 약간이라도 미스얼라인먼트(오정렬)가 나면 쇼트가 나고 수율에 지대한 영향을 미치는 그런 분야라서 계속 하부 막과 상부 막에 대해서 그런 틀어짐 정도를 계측하는 그런 장비라 보면 됩니다.
한: 아파트를 지을 때도 이렇게 1층부터 20층까지 지을 때, 1층이랑 20층하고 다르면 안 되는.
이: 맞습니다.
한: 약간 그렇게 이해하면 되는 겁니까.
이: 근데 그 양이 아주 극미한 양이어서 그런 아파트에 비유하는 것은 쌓아 올린다는 개념에선 맞는데 그 양이 무지무지 정밀해야 되는.
한: 레이어와 레이어 사이.
이: 아니요. 두께가 아니라. 하부 막과 상부 막, PR과의 그런 양들이 틀어진 양이 미세하게 레터럴하게 그러니까 수직적인 게 아니라 수평적으로 미세하게 틀어진 양들이 아주 정밀하게 계측이 되어야 하는 그런 장비입니다.
한: 만약에 정렬이 잘 안 되어 있으면 어떻게 됩니까?
이: 그러면 결국에는 쇼트가 나고 불량이 나겠죠. 수율에 직접적인 영향을 끼치고 또 무사하게 통과해서 쓰더라도 신뢰도에 지대한 영향을 미치는. 그렇기 때문에 빨리 문제가 있기 전에 피드백을 해야 되는 그런 장비입니다.
한: 쌓아 올렸을 때 수평으로 뭔가 정렬이 제대로 안 되어 있으면 문제가 생길 수 있다고 하는데. 수평이 어느 정도까지 오정렬이 되었을 때 문제가 생기고 안 생기고, 그 마진이 어느 정도예요?
이: 이제 그거를 다루는 게 전문용어로 오버레이 버짓(overlay budget)이라고 하는데. 오버레이 컨트롤 버짓이 현재 최신 디바이스에서 한 2나노 정도 됩니다.
한: 2나노.
이: 머리카락 두께의 오만분의 일이라고 보시면 되고요. 저희처럼 오버레이 계측기를 만드는 회사의 입장에서 얼마나 정밀하게 계측이 돼야 하느냐, 계측기 자체의 버짓, 오버레이 컨트롤 버짓이 있는데 컨트롤 버짓은 그것의 10분의 1에서 한 0.2나노
한: 그러니까 2나노 정도 안쪽으로는 틀어져도 상관없지만 그걸 계측하려면 0.2나노까지는 우리가 정확도를 갖고 봐야 한다는 얘기인 거죠.
이: 맞습니다.
한: 하긴 그렇게 해야 10배 정도는 볼 수 있는 거니까.
이: 네.
한: 그러면 만약에 오버레이 계측을 하고 나서 2나노 정도 이상 뭔가 위아래가 수평으로 틀어져 있다. 그렇게 되면 어떻게 해야 합니까?
이: 좋은 질문이신데요. 그게 틀어지면 저희들이 계측하는 것은 에칭을 다 하고 나면 늦어버리는데 ADI(After Develop Inspection)라고 해서 Development를 하고 Inspection이기 때문에 틀어지면 문제가 생겼을 경우에 리워크를 할 수 있는 한 번의 기회가 있습니다. 그걸 이제 포토레지스트로 스트립(Strip) 벗겨내고 다시 이제 포토리소그라피 공정을 거쳐서 컨트롤 안에 들어오도록 할 수 있는 기회가 있는 거죠. 그렇기 때문에 실시간적으로 빨리 계측하고 피드백하는 것들이 아주 중요합니다.
한: 그러면 일단 한번 계측해보고 문제 생기면 다 벗겨낸 다음에 다시 한번 더 할 수 있는 기회가 있는 거군요.
이: 네.
한: 이건 경쟁사가 몇 개 안 되는 것 같은데 대표님이 직접 경쟁사 이름을 언급하시기는 조금 불편하실 테니까. 제가 언급하자면 미국의 KLA라는 회사. 계측이나 굉장히 이런 쪽에서는 굉장히 잘하는 회사로 알고 있고, ASML이 노광장비도 하면서 이런 오버레이 장비도 일부 다른 방식으로 하고 있긴 하지만, 글로벌하게는 이 2개 정도 회사가 하는 거고, 그러고 나서 오로스입니까?
이: 네. 그러고 나서는 오로스입니다. 물론 이전에는 그런 회사가 있었는데, 점점 이런 기술의 장벽들이 점점 고도화되고 어려워지면서 진출했던 미국이나 영국이나 일본 이런 회사들이 그런 사업을 포기하기에 이르렀습니다. 그만큼 오버레이 계측을 한다는 것이 최신 디바이스에서는 아주 중요하고 점점 기술이 고도화되어있는 분야라서 기술 장벽이 상당히 높은 분야라고 볼 수 있습니다.
한: 지금 오버레이 장비에도 기술 방식이 2가지 정도 있는 것 같은데 IBO, DBO라고 되어있는데, IBO는 뭐의 약자입니까?
이: IBO는 Image Based Overlay의 약자인데요.
한: DBO는.
이: DBO는 Diffraction Based Overlay의 약자입니다.
한: 둘 사이가 기술방식이 좀 다른 거죠? IBO는 어떻게 합니까?
이: IBO는 아주 쉽게 설명하자면 사실은 굉장히 복잡한 요소이긴 한데. 아주 초고성능의 현미경으로 보시면 됩니다. 측정하는 것을 셀을 바로 볼 수 없기 때문에 광학 레졸루션 때문에 스크라이브 레인(scribe lane)에 실제 오버레이 마크라는 걸 만듭니다.
한: 그건 누가 만듭니까? 마크는?
이: 그건 오버레이 키를 결국 웨이퍼에 직접 만들어야 되기 때문에. 제조사에서 마크들을 디자인을 해서 물론 디바이스 업체도 하지만 그걸 최적의 성능으로 나오게 하기 위해서는 장비업체와도 서로 커뮤니케이션을 해나가면서 만들어나가고 있습니다.
한: 키를 만들어서.
이: 만들고 그 키를 아까 조금 전에 이야기했던 고성능 현미경이라는 그런 것을 통해서 간접적으로 측정하는 방식들입니다. 그리고 하부 막을 대변하는 중심값과 상부 막을 대변하는 중심값을 미세하게 계측해서 그 양이 오버레이로 계산이 되는 겁니다.
한: 그걸로 정렬이 돼 있는지 안 돼 있는지를 본다는 겁니까?
이: 네.
한: 제대로 정렬이 됐는지 안 됐는지. DBO는 그럼 어떻게 합니까?
이: DBO는 Diffraction Based Overlay. 말 그대로 디프렉션 회절을 이용하는 방식인데. 또 다른 특수한 키를 씁니다. 공간적으로는 상부 막과 하부 막이 중첩돼있는 형태의 키고요. 그 키를 통해서 측정이 될 때 오버레이가 발생을 하면 1차 회절광이 퍼스트오더와 마이너스오더에 대한 회절광에 의해서 밝기에 차이가 생깁니다. 그 밝기의 차이를 통해서 간접적으로 오버레이 양으로 유출을 할 수 있습니다.
한: 지금 아까 미국의 KLA, 네덜란드의 ASML, 한국의 오로스.
이: 그렇습니다.
한: 한국의 오로스하고 총 3사가 있는데 기술 방식은 다 다르죠? 어떻게 됩니까?
이: KLA의 IBO 그다음에 오로스의 IBO 이렇게는 스키메틱은 궁극적으로 같다고 보면 되고요. DBO는 조금씩 거듭 발전이 있었는데 궁극적으로는 또 KLA와 ASML 방식들도 약간의 차이는 있는데 근본적 차이는 비슷하다고 봅니다.
한: 근데 DBO 방식 같은 경우에는 적층이 많은 3D 낸드플래시에서는 약점이 있지 않나 이런 얘기가 있다던데요?
이: 그걸 어떻게 또. 전문분야를 하시니까 잘 아시네요. DBO와 IBO의 쓰임새가 좀 다르긴 합니다. 결론부터 이야기 드리면 IBO를 지금 대다수가 쓰고 있고 DBO는 애초부터 물질이라든지 두께 자체의 한계를 가질 수가 있습니다. 그럼에도 많이 발전했지만, V낸드에서 사용하기에는 어렵고 공정의 IBO는 문제가 생기면 바로 육안으로 확인이 가능한 이미지 베이스이기 때문에 그래서 그런 장점이 있고 또 고성능으로 빠르게 측정할 수 있기 때문에 그런 장점이 있고, DBO는 또 공정을 셋팅하는데 우리가 레시피를 크리에이션한다고 하는데 그런 부분을 간접적으로 측정하는 방식이다보니 시간이 좀 더 상대적으로 많이 드는 약간의 단점도 있습니다.
한: 오로스는 전통적으로 IBO 쪽을 계속.
이: 오로스는 IBO를 전통적으로 해왔고 그리고 지금도 IBO를 계속 발전시킬 수 있는 항목들이 있어서 계속 그 분야의 발전을 시키고 있는 단계입니다.
한: 오버레이 장비 전 세계시장 규모가 어떻게 됩니까? 1년에.
이: 월드와이드로요?
한: 네.
이: 월드와이드로는 5500억원 정도.
한: 한화로요?
이: 네. 한화로 대충 표현을 하면.
한: 재작년에 오로스 매출 270억원 하셨다고 하던데.
이: 네. 그러면 대충 비교해 보면, 그건 월드와이드가 그렇고 국내는 5500억원 시장의 35%. 최대 40%까지 가는 국내시장이 그만큼 오버레이 시장이 중요합니다.
한: 크네요. 그것도.
이: “올해 슈퍼 호황기다” “슈퍼 사이클이다”라고 하는데, 그것과 별개로 오버레이의 중요도가 점점 늘어나고 있기 때문에 오버레이 월드와이드 시장은 올해는 아마 7000억원 정도를 예상하고 있습니다.
한: 다시 여쭤봐서 죄송하긴 한데. 재작년엔 270억원을 했는데 올해 7000억원 시장이면 시장도 그만큼 늘어나면 오로스도 굉장히 올해 좀 실적이 잘 나올 것이라고 보고 계십니까?
이: 올해 이미 우리가 하이엔드 오버레이에 대한 축적된 경험을 가지고 현재 올해는 훨씬 더 많은 매출을 기대하고 아마 창사 이래에서 제일 큰 매출이 될 거라 예상하고 있습니다.
한: 지금 12인치 장비만 주로 하십니까? 아니면 8인치 장비도 같이하세요?
이: 현재 8인치 장비가 저희들은 있습니다. 중요도를 생각해서 2017년도부터 개발을 해야겠다 싶어서 개발이 되어있고. 대만 그리고 한국의 시스템 IC 회사들 이쪽으로 공급이 되고 있습니다.
한: 공급되고 있습니까?
이: 이미 공급이 되고 있습니다. 그리고 시장도 크게 점점 더 크게 확대될 것 같고요. 현재까지는 12인치를 메인으로 했고 하이엔드라는 것들을 추종할 수밖에 없는 이유가 그것만 집중하기에도 현재까지도 많이 부족한 부분이 있었기 때문에 지금은 완성도가 되어 있고 앞으로 8인치와 12인치가 다 같이 성장할 것이라 예상되고 있습니다.
한: 오버레이 8인치 파운드리가 완전 쇼티지(공급 부족)라서 올해 투자가 많이 늘어날 거라고 보는데. 물론 12인치와 비교해보면 절대 양에서 작긴 하겠지만. 그쪽 시장에서 투자 성장률을 보면 굉장히 커질 것 같은데. 지금 오버레이 장비에서 8인치 하는 곳은 오로스밖에 없죠?
이: 전세계에서 8인치 오버레이를 신제품으로 내는 데는 오로스밖에 없습니다. 잘 아시다시피 “시스템 IC 파운드리 쇼티지다” 이렇게 많이 기사화되는데.
한: 요즘 차를 못 만든대요. 칩이 없어서.
이: 자동차와 관련된 CIS(CMOS image sensor) 이런 쪽도 굉장히 부족하고. 잘 아시다시피 5G 환경에서 전력반도체 그래서 SiC(실리콘 카바이드)를 통한 화합물반도체 이런 쪽에 8인치 오버레이 장비에 대한 수요도 계속 늘어날 거라 예상됩니다. 저희들은 다행히 2017년에 거기에 대한 8인치 시장을 준비를 했고 오히려 12인치에 있는 아주 훌륭한 기술들을 8인치에도 많이 내재화시켰기 때문에 아마 세계에서 가장 좋은 성능의 8인치 오버레이 성능이 아닐까 자부하고 있습니다.
한: 오로스테크놀로지를 아는 분들이거나 아니면 그 증권신고서를 가만히 쳐다보신 분들이 우려하는 부분들은 뭐냐하면 “매출이 너무 한곳에 집중되어 있다” SK하이닉스 쪽 매출이 대부분인 걸로 나와 있는데. 이 부분에 대해서는 대표님이 어떤 생각을 가지고 계십니까?
이: 충분히 그런 질문을 하실 수 있다고 봅니다. 저희들은 하이엔드용 반도체, 하이엔드용 오버레이의 안정성이라든지 또 이런 계속 새로운 장비에 대한 요구 이런 것들을 부응하기 위해서 선택과 집중을 할 수밖에 없었습니다.
한: 초기에는.
이: 그리고 아시다시피 글로벌 반도체 최고에 있는 회사 SK하이닉스 이런 회사들하고 하이엔드용 오버레이를 협업 관계에서 계속해나가는데. 그런 선택과 집중들이 많이 효과를 봤다고 생각합니다. 그리고 지금은 거기에 대한 완성도가 이미 높아졌고 안정성도 됐고 또 차세대의 준비들도 계속대로 잘 되고 있기 때문에 아마 지금은 어느 회사가 되어있더라도 준비돼있는 회사로 될 것이라 여겨집니다.
한: SK하이닉스랑 거래한 경험들. 레퍼런스가 다른 회사들도 좋게 볼 수 있는.
이: 맞습니다. SK하이닉스는 이미 글로벌 메모리 회사이기도 하고, 그쪽에서 쌓았던 경험과 노하우 이런 것들이, 실적들이 외부에서 바라볼 때는 좋게 바라보고 있습니다. 그런 것들 때문에 저희들도 또다시 지금 올해 글로벌 넘버원 탑티어 이런 회사들하고 계속 JEP 같은 것들도 진행이 되고 있는 이유이기도 합니다.
한: JEP가 뭡니까?
이: JEP(Joint Evaluation Project)라고 해서 서로 공동 평가들을 하는 프로젝트입니다.
한: 뭔가 거래가 일어나기 전에 하는 여러 가지 전의 행위들인 거죠. 공동개발, 공동평가. 지금 그거 말고 신규 거래선들과도 접촉 중이죠?
이: 지금 또 다른 형태의 신규 D램 업체, 하이엔드용 CIS 업체들 그리고 또 8인치 오버레이 말고 Inspection에 대한 수요, 8인치 관련된 자동차나 센서 관련된 회사들의 수요. 이런 것들이 늘어날 거라 예상이 됩니다.
한: 어디랑 얘기하고 있는지는 구체적으로 얘기하기가 힘드시죠?
이: 회사 이름명을 이 자리에서 거론하기는 어려운데 굳이 설명하면 중화권의 D램 전문회사와.
한: 한 군데인데 거기...
이: 그다음에 글로벌 넘버원 CIS 회사 그런 쪽이라던지. 또 오버레이가 아닌 Inspection(검사장비) 쪽도 한국의 여러 시스템 IC, 그다음에 패키징에 관련된 여러 회사들, 일본 중국 이런 쪽에 8인치 자동차 센서 관련 회사들이 있습니다.
한: 상장하시게 되면 자금 조달을 하시게 되는데. 그 돈으로 뭘 하시려고 하시는 겁니까?
이: 저희들 증권신고서에도 설명을 했듯이 그런 부분들이 연구자금으로 가장 많이 쓰이게 됩니다. 두 번째로는 시설에 대한 투자. 그다음에 해외의 유수한 인력들이나 그런 쪽들을 확보하는 데에도 그런 자금들이 골고루 저희 로드맵에 맞게끔 해서 실행될 예정입니다
한: 저도 증권신고서 봤는데 신규 장비들을 개발하려고 몇 가지 써놓으셨던데. 그중에서 제가 봤을 때 제일 처음 써놓은 게 뭐였냐면 Thin Flim Metrology(두께측정 장비).
이: 박막 측정이라고 보면 됩니다.
한: 그거가 좀 중요합니까 어떻습니까?
이: 아주 중요합니다. 되게 좋은 질문이신데요. 저희들이 국산화 전공정 계측 회사로써 오버레이를 완성을 했고 그다음 두께측정 장비는 아까 이야기했듯이 포토리소그래피(Photolithography)도 필요하지만 에칭을 하고 나서 박막도 측정하고 증착을 하고 나서도 필요하고 증착(Deposition)이죠 그다음에 CMP를 하고 나서도 필요하고. 매 공정마다 아주 많이 측정을 하는 중요한 계측기이고 그게 들어가는 Spectroscopic Ellipsometry라고 하는 Ellipsometry라고 하는 SE 기술을 이용하는 그런 기술인데. 제가 이전에 있던 나노메트릭스가 아주 전문으로 하던 회사입니다. 그리고 그 기술도 이용해서 OCD(Optical Critical Dimension)라는 그런 쪽 계측기도 만들 수 있습니다. 그런 분야들을 하기 위해서는 아주 전문화된 인력들이 많이 필요하고 저희들이 진정한 Metrology and Inspection(계측 및 검사)의 국내 대표주자가 되기 위해서는 그런 분야들을 준비를 해나가야 된다는 판단하에 집중적으로 하고 있습니다.
한: Thin Flim Metrology(두께측정 장비) 장비는 지금 국내에 하는 회사들은 없죠?
이: 네. 연구는 많이 하고 하는 데가 많이 있다고 볼 수 있는데. 반도체 산업에서 양산에 대해 성공한 회사는 결국에는 잘 아시는 KLA 이전에 제가 몸담았던 나노메트릭스 이 정도라고 보면 됩니다.
한: 그 정도인데 그것도 개발을 하시려고 하고 있고. 지금 적어놓으신 것을 보니까 이건 한 10년 뒤 이렇게 되는 건 아니죠?
이: 그렇게 되면 안 되고요. 저희들이 오랫동안 관심을 가져왔는데, 지금까지는 적은 인원으로 그쪽 오버레이에 집중했었고 지금 그 분야들도 아주 빠른 시간 내에 저희들이 개발해서 선을 보일 수 있도록 할 예정입니다.
한: 그게 개발이 되면 지금 오버레이 장비에서 또 그런 쪽으로 장비군도 넓혀나갈 수 있는 것이로군요. 시설투자는 어떻게 할 계획이십니까?
이: 시설 투자는 현재 저희들이 아마 오버레이에 대한 수요도 늘어나면서 현재 있는 본사의 클린룸 시설도 확충을 해야 되기 때문에 그런 투자. 그리고 저희들이 작년 3Q부터 연구소를 판교에도 설립을 하였습니다. 그쪽도 불충분하기 때문에 그쪽 판교 주변을 통한 인근의 시설 확충을 좀 더 할 예정이고요. 그리고 좀 전에 이야기했었던 새로운 메트롤로지 이런 부분을 위해서 해외 유수한 인력들을 확보하고 그쪽의 연구소 설립을 위해 미국의 연구소 중심의 지사를 또 설립하고도 있고. 또 그런 부분에 대한 시설 투자가 연결이 될 것 같습니다.
한: 미국 어디에 하시려구요?
이: 실리콘밸리.
한: 주로 인재를 많이 유치하실 목적으로.
이: 네. 그쪽은 이미 한국인 인재들도 많이 있고요. 해외의 유수한 인재들이 많이 있기 때문에 저희들이 지사가 있다면 그쪽으로 일을 할 수 있고. 저희하고 시너지가 많이 날 것으로 예상됩니다.
한: 오늘 어쨌든 나와주셔서 올해 사상 최대 실적이 기대가 된다, 목표를 잡아놨다 그리고 새로운 장비도 공모한 자금으로 개발하겠다 그리고 오버레이 장비에 대해서 경쟁력도 말씀해주셨고, 시설투자도 계속하실 거라 말씀해주셨는데, 끝으로 하고 싶은 말씀 짧게 해 주시면.
이: 오로스테크놀로지가 반도체 전공정 계측 회사로써 처음으로 오버레이라는 제품을 국산화에 성공을 하였고, 또 한국 반도체 산업생태계에 많이 이바지에 하고 있다고 생각을 하고 있습니다. 더불어 진정한 메트놀로지 회사로도 거듭나기 위해서 어렵지만 좀 더 새로운 분야에 도전할 예정이고 IPO를 통해서 좀 더 적극적이고 힘은 들지만 크고 담대한 목표를 향해서 달려갈 것이고 앞으로 많이 지켜봐 주시길 바랍니다.
한: 지금 소부장 강소기업도 선정되지 않았습니까?
이: 맞습니다.
한: 오늘 나와주셔서 고맙습니다.
이: 감사합니다.
한: 여기까지 하겠습니다.