에스티아이, 일본 도레이 포토트랙시스템 수주

도레이 중국 공장에 납품

2022-02-16 이기종 기자

반도체·디스플레이 장비업체 에스티아이가 일본 도레이 중국 공장용 포토트랙 시스템(Photo Track System)을 수주했다고 16일 밝혔다. 포토트랙 시스템은 유기발광다이오드(OLED) 전 공정인 박막트랜지스터(TFT) 공정 내 세정, 코팅, 노광, 현상에 사용한다. 각 공정에 쓰이는 장비를 하나로 연결한 시스템이다. 디스플레이 기판 표면 위에 사진 인쇄 기술을 이용해 회로 패턴을 새길 수 있다. 감광성 고분자 물질(PR:Photoresist)을 얇게 바른 후 마스크를 올려 놓고 그 위에 빛을 가해 원하는 패턴을 형성한다. 에스티아이 포토트랙 시스템은 글래스 전반에 단일하게 미세 패턴을 구현할 수 있다. OLED 백 패널(Back Panel) 공정과 터치 패널 공정까지 대응이 가능하다. 앞서 에스티아이는 지난달 충남테크노파크와 33억원 규모 포토트랙 시스템 수주 계약을 맺었다고 밝힌 바 있다. 에스티아이의 포토트랙 시스템 수주는 이때가 처음이었다. 충남테크노파크는 OLED PR 공정, 도레이 중국 공장은 터치 패널 공정과 컬러 필터 공정에 포토트랙시스템을 적용해 OLED BP와 터치 패널을 생산할 계획이다. 에스티아이 관계자는 "두 공정 설비를 개별 투자하지 않고 한번에 구축하기 때문에 고객사는 공정 품질 향상과 설비 투자액 절감이 가능하다"고 말했다. 이어 "이번 수주는 기존 컬러 필터 공정 설비뿐만 아니라 OLED 전 공정 장비 진출에 의의가 있다"고 덧붙였다.

에스티아이