日호리바, 한국서 고성능 반도체 소재부품 생산

6월부터 고성능 모델 생산

2021-02-17 김동원 기자

일본 호리바그룹이 반도체 사업 계열사 한국 법인인 호리바에스텍코리아 역량 강화에 나선다. 17일 호리바그룹은 고성능 질량유량 제어기기(MFC)를 D500 시리즈를 오는 6월부터 한국에서 생산한다고 밝혔다. 반도체 호황에 따른 결정이다. 회사 측은 "한국 정부의 반도체 파운드리 소재·부품·장비(소부장) 강화 방침에 동참하면서 한국 반도체 시장 확대에 빨리 대응하고 협력하기 위한 것"이라고 밝혔다. MFC D500 시리즈를 한국에서 생산하기로 했다. 월 1000대 생산이 목표다. 한국 법인에 생산 기술 능력과 품질 인증 레벨을 본사와 통일하기 위해 교육 이수 및 품질 인증 관리 감독 강화도 추진 중이다. 호리바그룹은 2019년 기준 전 세계 MFC 시장 약 60% 점유율을 기록했다. MFC는 반도체 제조 공정에서 가스 공급의 정밀 제어 역할을 한다. 반도체 전공정인 증착과 식각에서 사용된다. D500 시리즈는 공급되는 가스의 압력 차이를 센서에 적용해 유량을 조절한다. 고정밀 제어가 가능하고 응답속도도 빠르다. 호리바그룹 관계자는 "앞으로 글로벌 레벨 공급력 강화를 추진하고 점유율을 확대해나갈 계획"이라고 말했다.