반도체 특수화학물질 및 첨단소재 솔루션 기업 인테그리스는 대만 지적재산권재판소가 자사의 ‘레티클 포드(Reticle Pod)’ 특허를 침해한 구뎅정밀산업(Gudeng Precision Industria)에 3260만달러 손해배상 및 제품 전체회수·파기 판결을 내렸다고 25일 밝혔다.
해당 재판장은 인테그리스의 ‘레티클 SMIF 포드(Reticle SMIF Pod)’ 및 관련 제품 특허인 ‘레티클, 포지셔닝 및 배치와 관련된 레티클 캐리어’를 침해하는 모든 제품에 대해 구뎅정밀산업이 더 이상 제조·영업·판매·수입하지 않을 것을 지시했다. 아울러 특허 침해 관련 제품의 회수 및 파기도 명령했다.
인테그리스는 자사 극자외선(EUV) 1010 레티클 포드가 마스크 결함 개선에 도움이 주는 제품으로 평가받는다고 설명했다. 이 회사 레티클 포드는 ASML의 EUV 장비인 NXE3400B 및 해당 라인업 제품에 활용될 예정이다.
업계 관계자는 "인테그리스가 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 잠재 대형 고객사에 이 같은 사항을 알리기 위해 한국 언론에도 자료를 배포하지 않았겠느냐"고 추정했다.