주성엔지니어링, SK하이닉스 차세대 D램 생산용 ALD 장비 전량 수주

하이-K 물질 증착 용도

2022-04-19 한주엽 기자

주성엔지니어링이 올해 SK하이닉스가 도입할 차세대 D램 생산용 원자층증착(ALD) 장비 다량을 단독 수주한 것으로 19일 알려졌다. 고유전율(하이-K) 증착 재료를 D램 커패시터에 올리는 용도로 쓰이는 핵심 장비다. 올해 SK하이닉스가 조달을 계획하고 있는 하이-K ALD 장비는 30여대 수준으로 파악됐다. 이 장비는 수 년 전부터 원익IPS가 경쟁사로 들어와 주성과 원익 각사가 절반 정도씩 나눠 SK하이닉스로 공급했다. 업계 관계자는 "원래 해당 공정용 장비는 주성이 단독 공급했었지만, 원익IPS가 공급사로 이름을 올리면서 관련 매출이 축소됐었다"면서 "근래 신재료가 들어가면서 원익IPS 장비 성능이 문제시 돼 탈락한 것으로 안다"고 말했다. D램은 커패시터 전하 저장 유무로 0과 1을 판별한다. 선폭이 좁아지면서 커패시터간 간섭 현상이 심해졌다. 간섭 축소를 위해 고유전율 물질을 매우 얇게 펴서 바르는 ALD 공정은 D램 생산에서 핵심 중에 핵심이다. 공정이 미세화될수록 커패시터 전류 누설과 간섭 현상이 심해지기 때문에 특성이 좋은 프리커서를 써야 한다. 기존에는 지르코늄(Zr)계를 썼다면, 최근 하프늄(Hf) 계열 물질을 조금씩 적용하기 시작했다. Hf 계열 ALD 공정에서 원익IPS 장비 성능이나 결과물 신뢰성이 지나치게 떨어진다는 SK하이닉스 내부 테스트 결과가 지난해 하반기에 나왔다. 결국 올해 관련 공정용 장비 모두를 주성에 맡길 수 밖에 없었다. 다만 SK하이닉스가 원익IPS와의 관계를 완전히 끊은 것은 아니다. 올해 원익IPS는 텅스텐을 올리는 일반 증착 장비 4대 정도를 SK하이닉스로부터 수주받을 것으로 보인다. 주성엔지니어링은 지난해 코로나19 영향 등에 따른 전방 산업계의 투자 약화로 연간 매출이 전년 대비 53.4% 줄어든 1185억원에 그쳤다. 이익 지표도 적자로 전환했다. 그러나 올해는 SK하이닉스 매출이 대폭 확대되고 국내와 중국 디스플레이 분야 투자가 늘어나면서 큰 폭의 매출 증대와 흑자 전환이 예상된다. 오랜 기간 공을 들여온 유럽 태양광 사업도 내년께에는 수주 가시성이 확보될 것으로 증권가에선 전망한다. DB투자증권은 올해 주성엔지니어링의 매출이 작년 대비 183% 증가한 3349억원으로 예상했다. 영업이익은 733억원의 대규모 흑자 전환을 전망했다. 이 같은 전망대로 실적이 나온다면 역대 최대 실적 기록을 경신하게 되는 것이다.