유도결합플라스마 건식 식각장비 업그레이드
LG디스플레이와 테스트 돌입...일본 TEL도 개발
2021-05-12 이기종 기자
디스플레이 장비 업체 인베니아가 10.5세대(2940x3370mm) 대형 패널 생산에 사용할 수 있는 유도결합플라스마(ICP:Inductively Coupled Plasma) 방식의 건식 식각장비(Dry Etcher)를 개발했다.
12일 인베니아 관계자는 "10.5세대 유기발광다이오드(OLED)와 액정표시장치(LCD) 생산라인에 사용할 수 있는 ICP 건식 식각장비를 지난해 말 개발했다"고 밝혔다. 기존에 8.5세대(2200x2500mm) 라인까지 대응해온 ICP 건식 식각장비 사양을 업그레이드했다.
건식 식각장비는 디스플레이 전 공정에서 가스를 사용해 플라스마 상태에서 물리 반응으로 미세회로의 불필요한 부분을 제거한다. 화학약품 성분을 이용하는 습식 식각보다 건식 식각은 가스의 직진성을 활용할 수 있어 미세회로 식각에 유리하다.
건식 식각장비는 플라스마 발생 방식에 따라 ICP와 용량결합플라스마(ECCP:Enhanced Capacitive Coupled Plasma)로 나뉜다. ICP 방식은 챔버 외부 안테나를 통해 챔버 내부 플라스마를 제어한다. 비교적 낮은 압력으로 고밀도 플라스마를 얻을 수 있다. ECCP 방식은 상하부 두 전극 사이에 플라스마를 만든다. 구조가 간단하고 플라스마 밀도와 이온 에너지를 개별 조절할 수 있다.
경쟁사인 일본 도쿄일렉트론(TEL)도 10.5세대용 ICP 건식 식각장비 개발을 마쳤다. 인베니아와 TEL 모두 LG디스플레이와 해당 장비를 테스트 중이다. 테스트 과정에서 LG디스플레이는 이들 업체에 추가 사양 개선을 요구할 수 있다.
인베니아는 지난해 7월부터 양산 가동한 LG디스플레이 중국 광저우 8.5세대 OLED 공장에 ICP 방식과 ECCP 방식 건식 식각장비를 모두 단독 공급했다. LG디스플레이가 기존과 비슷한 방식으로 라인을 추가 투자하면 수혜를 기대할 수 있다. LG디스플레이는 경기 파주와 광저우 8.5세대 OLED 공장에 이어, 파주에 10.5세대 OLED 라인을 구축할 예정이었지만 현재는 계획이 뒤로 밀린 상태다.
ECCP 건식 식각장비의 경우 인베니아와 TEL 모두 10.5세대 LCD 라인까지 고객사에 양산 납품 중이다. 장비 가격은 ICP 방식이 ECCP 방식보다 50% 이상 비싸다. 라인을 구성할 때도 ECCP 비중이 80~90% 수준이다.
인베니아는 주력인 건식 식각장비 등 디스플레이 장비 외에 이설사업과 이차전지 분리막 검사기, 화장품 용기 검사기 등 신사업을 추진한다.
지난해 실적은 매출 1410억원, 영업이익 47억원이다. 전년비 매출은 3.5% 줄었고, 영업익은 16.9% 늘었다. 지난해 고객사별 매출 비중은 중국 HKC가 46%로 가장 높다. 다음으로 중국 BOE 25%, CSOT 15%, LG디스플레이 12% 순이다. 인베니아는 지난 2019년 HKC의 8.6세대 H4에 이어, 지난해 HKC의 8.6세대 H5 공장에 전 공정 장비를 납품했다. 매출 비중은 고객사의 연도별 설비투자에 따라 매년 바뀐다.