대만 웨이퍼 제조업체 웨이퍼웍스(wafer works)가 중국 허난성(河南) 정저우시(郑州) 200mm 웨이퍼 공장에서 지난 26일 생산기념 행사를 했다. 300mm 웨이퍼 공장을 짓는 투자계획도 재확인했다.

정저우 공장의 설계 생산능력은 200mm 웨이퍼 기준 월 20만장이다. 우리돈 1900억원(12억위안) 상당의 돈이 투자됐다. 내년 하반기까지 생산능력을 끌어올릴 계획이다. 웨이퍼웍스의 정저우 공장 생산법인은 정저우허징실리콘재료유한공사(鄭州合晶硅材料有限公司, 정저우허징)로 웨이퍼웍스가 60% 지분을 가졌다.

중화권 언론 경제일보(经济日报), 쥐헝왕(钜亨网) 등에 따르면 천춘린(陈春霖) 정저우허징 사장은 이날 기념행사에서 "올해 12월 정저우 공장에서 생산한 샘플을 고객사에 보내 인증을 받을 것"이라면서 "고급제품인 NPC(Nearly Perfect Crystal) 웨이퍼도 생산가능하다"고 밝혔다. 또 "NPC 웨이퍼는 90나노미터(nm) 이하 지문인식, CMOS 공정, 자동차전장 반도체 제작용"이라면서 "한국과 일본 고객사가 주문 의사를 밝혔다"고도 했다.

천 사장은 올해말 착공, 내년말 완공, 2020년 양산계획인 300mm 웨이퍼 투자계획도 재확인했다. 45억위안(7300억원)을 들여 폴리시드(polished)웨이퍼 월 20만장과 에피택셜(epitaxial) 웨이퍼 월 7만장 생산능력을 갖춘 공장을 정저우시에 짓는 계획이다. 폴리시드는 실리콘 잉곳에서 웨이퍼를 잘라내 연마한 일반 웨이퍼를 의미한다. 에피택셜은 폴리시드 제품에서 화학 공정을 한 단계 더 거쳐 미세한 결함을 잡은 고부가 웨이퍼다.

쟈오핑하이(焦平海) 웨이퍼웍스 회장은 생산기념 행사에 참석해 "300mm 웨이퍼 생산은 필연적인 일"이라고 말했다. 대만과 중국에 생산공장을 둔 웨이퍼웍스는 아직 300mm 웨이퍼 양산 공장이 없다. 전력반도체용 200mm, 150mm 웨이퍼가 웨이퍼웍스의 주력생산품이다.

웨이퍼웍스는 세계 웨이퍼 시장에서 2016년 매출기준 2%대 시장점유율을 기록했다. 일본 신에츠화학과 섬코가 절반이상을 차지한 세계 웨이퍼 시장에서 대만 글로벌웨이퍼즈, 독일 실트로닉, 국내 SK실트론 순으로 3개 업체가 10%대 점유율을 가진 메이저 업체다.

일본, 대만 업체가 중국내 웨이퍼 생산시설 확충을 주도하는 모양새다. 내년 초 가동예정인 항저우중신(中芯) 공장은 일본 페로텍(ferrotec)이 대만 글로벌웨이퍼즈의 기술을 지원 받아 짓고 있다. 중국내 첫 300mm웨이퍼 양산공장이 될 것이 유력하다. 중신공장의 총투자비는 60억위안(9800억원)으로 웨이퍼웍스 정저우 공장의 총투자비 57억위안(200mm 12억위안, 300mm 45억위안)보다 크다.