에프에스티, 업계 최초 EUV 펠리클 자동 마운트 장비 개발

국내 대형 고객사 평가 통과

2021-07-08 한주엽 기자

고객사

반도체 설비 및 소재 전문업체 에프에스티(FST)가 극자외선(EUV)용 펠리클(Pellicle)을 마스크에 자동 탈부착하는 장비 등을 세계 최초로 개발하고 국내 대형 고객사 평가까지 마쳤다. 에프에스티는 챔버 온도조절 설비인 칠러(Chiller)와 마스크 보호용 펠리클 소재가 주력 매출원인 회사다. 신규 장비 영역에서 매출 가시성을 확보한데다 모두 세계 최초 혹은 국내 최초 상용화가 기대된다는 점에서 향후 큰 폭 성장이 예상된다. FST는 EUV용 마스크에 펠리클을 자동 탈 부착하는 장비인 EPMD(EUV Pellicle Mounter|Demounter) 개발했다고 8일 밝혔다. 회사는 2019년부터 이 장비 개발을 시작했다. 지난 1분기 데모 장비를 만들어 공급했고, 최근 고객사 평가를 통과했다. 고객사가 EUV 펠리클을 활용하는 시점에 앞서 장비가 공급될 수 있을 것으로 보인다. 펠리클은 마스크를 먼지로부터 보호하는 얇은 막이다. EUV용 펠리클은 두께가 50나노 이하로 매우 얇다. 초박막 필름 형태 펠리클을 마스크 위로 정확하게 고정하는 건 쉽지 않은 일이다. 네덜란드 ASML이 가이드라인용으로 제시한 펠리클 마운트 장비가 소자 업체 EUV 공정 라인에 도입돼 있으나, 여러 과정에서 사람 손으로 작업을 해야 하는 구조를 갖고 있다. 장당 1억원에 가까운 펠리클을 사람 손으로 올리는 과정에서 실수가 발생하면 상당한 손실로 이어진다. 이 장비가 개발된 주된 이유다.

FST EPMD는 마스크 위로 펠리클을 올리고, 내리는 기능이 모두 자동으로 수행된다. 고객사 평가 결과에 따르면 100% 성공률을 보였다. 업계 관계자는 "수동 EUV 펠리클 마운트 장비 가격이 수십억원대에 달할 정도로 비싸고, 펠리클 사용량이 늘어날수록 많은 장비 대수를 요구한다"면서 "펠리클을 활용하는 시기가 조만간 올 것으로 예상되는 만큼 그에 앞서 이 장비군에서 매출이 발생할 것"이라고 말했다. FST는 EPMD 외 펠리클을 검사하는 장비인 EPIS(EUV Pellicle Inspection System), EUV 마스크 보관용 포드(POD) 검사 장비인 EPODIS(EUV POD Inspection System)도 개발에 성공했다. EPMD와 마찬가지로 고객사 평가 과정에서 호평을 받으며 통과했다. EPIS는 펠리클 박막과 막 지지대(Frame)에 이물이 붙었는지를 검사할 수 있는 장비다. 검사한 이물에 대해 리뷰 기능을 지원한다. 이물 종류 자동 분류 및 막 내 이물 위치를 자동 판별할 수 있다. EPODIS는 EUV 마스크를 담는 케이스의 오염 여부를 검사하는 장비다. 두 장비 모두 레이저와 이미지 프로세싱 기술을 활용한다. 최성원 FST 부설연구소장은 "해당 장비군은 모두 세계 최초 혹은 국내 최초로 개발한 것으로 고객사로부터 그 가치를 인정받았다는 데 의미가 크다"면서 "향후 EUV 토탈 솔루션 기업으로 도약하는 기반을 마련했다"고 말했다. 에프에스티는 이르면 연내, 늦어도 내년 중으로 신규 장비군에서 의미 있는 수준의 매출이 나올 수 있을 것으로 기대했다. FST는 이번에 개발한 장비 외 EUV 펠리클을 조립(Assembly)하는 설비 등 다양한 신장비를 개발 중이라고 설명했다.