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[영상] 에스앤에스텍, 투과율 90% 풀사이즈 EUV 펠리클 개발 완료

2021-10-06     장현민 PD

<자막원문>

진행: 한주엽 디일렉 대표

출연: 이수환 국장

-오늘 짧게 에스앤에스텍 얘기 한번 해보도록 하겠습니다. 이수환 국장 모셨습니다. 안녕하십니까.

“안녕하세요. 이수환입니다”

-에스앤에스텍이라는 회사 잘 아시죠”

“알죠”

-뭘 하는 회사입니까?

“블랭크 마스크를 하는 회사죠”

-블랭크 마스크로 2020년도에 한 870억 원 정도 매출하고 올해 조금 더 늘어서 1,000억 원 조금 넘을 수도 있다. 이런 전망도 여의도에서 나오고 있긴 하던데. 블랭크 마스크라는 것이 반도체나 디스플레이에 쓰기 전에 아무것도 없는.

“블랭크 ‘비어있는’. 비어 있는 마스크를 얘기하는 거죠”

-거기에 마스크의 패턴을 새겨서 그걸로 이제 노광할 때 쓰는 블랭크 마스크를 굉장히 잘하는 회사고 오랫동안 했던 회사입니다. 이 회사가 미래 성장 동력으로 굉장히 오랜 기간 개발을 해왔던 것이 저희가 텍스트 기사로든 아니면 영상으로든 몇 번 언급한 적이 있는 펠리클(Pelicle).

“펠리클(Pelicle)”

-굉장히 얇은 두께의 마스크를 보호하는 보호 필름은 아니고.

“보호막이라고 할 수 있겠죠”

-극자외선(EUV) 펠리클(Pelicle).

“그렇죠. EUV 때문에 쓰는 거죠. 결국엔”

-EUV용 펠리클 개발에 뛰어들고 있다라는 내용들이 전해지면서 이 회사 주가가 2018년도나 2019년도 되기 전까지만 해도 2천 원대.

“1천 원대에서 보합을 많이 했었죠”

-2천 원대를 왔다 갔다 이렇게 많이 했는데 EUV 시대에 접어들면서 펠리클을 개발하고 있다더라라는 내용이 공식적으로건 비공식적으로건 내용이 알려지면서 주가가 엄청 뛰었어요.

“주가가 엄청 뛰었고 또 덧붙여서 이제 저희도 영상으로 다뤘지만, 삼성전자가 이제 D램에 이제 EUV를 쓰기 시작했다는 얘기 즈음에서 회사의 어떤 주가도 영향을 많이 받은 것 같습니다”

-근데 지금은 이제 EUV 관련된 내용, 펠리클 관련된 내용은 우리가 안진호 교수님 통해서 기술적인 내용들 많이 이제 얘기를 했기 때문에 기술적인 내용은 그 영상을 참고해 주시면 좋겠고. 어쨌거나 이 회사 주가가 굉장히 고점이었을 때는 5만 원까지 넘었던 때도 있고 지금 이제 3만 원대 근처를 하는 것 같은데. 이게 미래의 어떤 기대감이 반영된 거 아닙니까?

“당연히 예전에도 몇 번 말씀하셨지만, D램 메모리 반도체에 본격적으로 EUV가 쓰이게 되면 마스크값이 또 엄청나게 비싸잖아요. 그걸 보호하기 위한 펠리클 수요가 많아질 수밖에 없겠죠. 당연히 많아진다”

-몇억 원 단위였는데 지금 개발을 완료했다고 확인이 되었습니다. 그게 여러 차례 말씀드린 과거 콘텐츠에도 있지만, 투과율이 되게 중요한데.

“투과율”

-안 그래도 이제 반사돼서 나오면서 이제 빛의 광원도 약한데 반사되면서 또 힘을 잃고 또 투과율까지 높지 않으면 거기서도 또 광원 손실이 일어나는 것 때문에 투과율이 90%는 넘어야 우리가 실제 양산 라인에 넣어서 쓸 수 있다는 고객사의 요구. 국내 고객사라고 해봤자 두 개인데. 그 두 개 중에서도 또 EUV를 양산하고 있는 회사는 파운드리 하고 있는 큰 회사 하나밖에 없지 않습니까?

“그렇죠”

-그래서 90%를 달성을 했다고 합니다. 그런데 이제 개런티, 보장하는 투과율은 89%이고 이제 쟤보니까 90%까지도 나온다는 건데. 어쨌든 조금 실제로는 90% 나오고 개런티하는 거는 89%가 된다라고 확정적으로 얘기를 했고 또 중요한 어떤 사양 중의 하나가 얼마나 쓸 수 있느냐.

“일종의 수명이죠”

-수명. 보통 이제 1만 시간을 얘기하는데 물론 그것도 테스트 조건마다 좀 다르긴 하지만. 회사 쪽에서는 한 2만 시간까지도 가능하지 않겠나라고 지금 기대를 하고 있는 것 같아요.

“일단 펠리클이라는 게 기본적으로 소재도 무척 중요하잖아요. 일단 빛을, 그 소스 파워를 흡수하기 때문에. 열이 600도에서 1,000도까지 발생을 하니까 거기랑 또 밀접한 관련이 좀 있어 보입니다”

-맞습니다. 그래서 소재에 대한 것도 중요하고 투과도도 중요하고 또 이제 그런 내열성. 여러 가지 무슨 투명한 그 막 하나가 뭐 이렇게 중요하냐라고 하지만 마스크에 먼지가 붙으면 수억 원 짜리 마스크를 못 쓰거나 아니면 다시 리페어해서 써야 되니까. 그래서 이제 펠리클을 썼던 건데. 어쨌든 지금은 삼성전자 같은 경우는, 죄송합니다. 이름을 얘기해 버렸네요. 삼성전자 같은 경우는 지금 2023년도부터 펠리클을 본격적으로 도입하겠다.

“전면도입한다고”

-거기에 처음 도입할 제품이 미국 테라다인(TER)이라는 회사랑 네덜란드 ASML이 공동으로 개발한 MK4.0 제품.

“MK4.0라고 하면 좀 이해가 좀 빠르고”

-우리 아이언맨 할 때도 마크 1~마크 2 이런식으로.

“버전 별로 이렇게 나오잖아요”

-MK4.0가 90.6% 투과율을 달성했고 사용 시간도 이제 그만큼 달성한 것을, 달성했다고 하니까 일단 그것부터 그거밖에 없어요. 쓸 수 있는 게 그러니까 그것부터 쓸 것 같고. 지금 에스앤에스텍은 개발은 내부에서 이제 완료가 되었고 89%에서 90%. 실제로는 90%가 나오는데 조금 보수적으로 사양을 잡아서 89%가 되는 투과율의 펠리클을 ASML를 통해서 품질 테스트를 받기 위해 지금 일정을 논의하고 있는 그런 단계라고 합니다.

“그러면 왜 ASML에서 퀄(Quality·품질인증)을 받는 거죠?”

-“삼성이 마지막에 쓰니까 삼성에만 받으면 되는 거 아니냐?”라고 저도 그렇게 생각을 했었는데 장비가 ASML 장비 안에 들어가서 쓰이잖아요. 근데 이제 ASML의 공식 인증을 받지 않은 어떤 부품류를 쓰다가 혹시 잘못됐을 경우에 우리 A/S의 책임이 없다. 이런 식으로 이제 계약이 그렇게 돼 있나 봐요. 그래서 지금 ASML이 테라다인(TER) 같이 공동 개발한 그 펠리클은 생산은 지금 일본의 미쓰이화학에서 하잖아요. 근데 그것도 어쨌든 퀄을 다 받은 거고. 지금 1차적으로는 ASML의 퀄을 받아야 되고 그게 통과가 된다라고 하면 둘이 손잡고 가서 이제 삼성전자한테도 이제 퀄을 받아야 되고 그런 과정인 것 같습니다.

“이게 마치 자동차 정비소에 가서 정품과 비정품 할 때 정품은 이제 현대차 같은 경우에는 딱지를 붙여주잖아요. 정품 인증. 그런 거랑 비슷하다고 보면 되겠네요”

-그래서 그거 다 통과하고 삼성이 어쨌든 2023년도에 이제 본격적으로 펠리클을 사용하기 시작한다고 하면 한 개 회사한테만 받아서 쓰면 약간 불안하니까. 어찌 됐건 간에 지금 에스앤에스텍이라는 회사 또 에프에스티도 개발을 하고 있다라고 하는데 거기는 아직 어떤 개발 완료 이런 소식이 아직 안 나오고 있고. 그게 되면 회사에도 굉장히 실적 상에서도 굉장히 좋은 효과가 있을 것 같고요.

“그럼 얼마 정도가 매출에 도움이 될 수 있을까요?”

-아까 얘기한 미쓰이화학에서 만든 마크4가 3만 5천 불 정도 얘기가 되고 있다고 그래요. 장당 그거 하나에 4천만 원 정도 한다는 겁니다. 근데 후발주자니까 그것보다 조금 싸게 들어간다고 하더라도 2023년도 언제부터 본격적으로 될지 모르겠지만 월에 한 300만 불에서 500만 불 정도? 한 30억 원에서~50억 원. 이 정도 사이이면 연간으로 치면 상당한 매출에 보탬이 될 수 있는 것이죠. 그리고 지금은 파운드리에서만 쓰고 있는데 D램에 이제 적용되고. SK하이닉스도 지금 이제 한다고 하고 있지 않습니까? 그리고 지금 1개에서 4개의 레이어가 이제 EUV 마스크 사용량이 그렇게 많지는 않지만 앞으로 로직에서는 3나노로 이렇게 내려가면 마스크 양도 늘어나고 또 EUV 안에서도 싱글 패터닝이 아닌 더블 패터닝 이렇게 넘어가게 되면 마스크 사용량도 굉장히 커지게 되니까. 또 소모품이잖아요.

“그 부분이 중요한 것 같습니다”

-계속 쓰게 되니까 회사에 어떤, 지금 블랭크 마스크로 이 정도 매출을 하고 있는데 거기에 엮어서 마스크 위에 덮을 수 있는 펠리클까지 사업에 매출 포트폴리오 안에 들어온다라고 하면 굉장한 어떤 회사 차원에서의 어떤 밸류업이 크게 된다라고 시장에서는 보고 있죠.

“그러면 바로 생산해서 만들면 되는 겁니까?”

-그런데 이게 지금 이제 R&D 단계에서 만든 거니까 실질적으로 양산을 하려고 하면 투자가 필요하다고 그래요. 왜냐하면 그게 또 핵심 소재에 대한 거나 이런 것들은 얘기를 안 하는데 제가 좀 들어보니까 코어 레이어의 소재는 미쓰이화학과 동일한 소재를 쓴다고 하고 만들고 나서 이렇게 뒤에 후처리라고 하죠. 트리트먼트 작업이라든지 이런 것들 들을 할 때는 조금 방법이 다르고 다른 방법에 대해서 회사에서 특허 출원 같은 것도 좀 해놓은 것 같은데. 어쨌든 이거 만들려면 CVD 장비도 있어야 되고 검사기도 있어야 되고 투과율 측정기 이런 것도 있어야 되고 공간도 있어야 되니까. 지금 얘기 들어보니까 용인의 부지는 사 놓은 것 같고 그 부지에 공장 건물도 짓고 안에 장비도 들여놓고 하려면.

“클린룸도 만들어야 되고”

-한 500억 원 정도 투자가 필요한데. 지금 이제 개발됐다라는 얘기 이제 퀄이 되고 나면 또 시간이 또 걸리지 않겠습니까? 퀄을 하고 나서 우리가 그러면 언제 들어가는 거지라는 타이밍은 회사에서 500억 원 시설 투자 이런 공시가 나올 때쯤이면 “아 이게 다 됐구나. 이제 조만간 이제 공장 짓고 하는 데 시간이 걸리니까 조만간 공급을 하겠구나”라고 이제 우리가 유추해 볼 수 있겠죠. 근데 지금 삼성전자 파운드리 사업 같은 경우는 펠리클의 어떤 적용을 빨리 더 확대해야 된다라는 이런 목소리들이 내부에 있기 때문에 급물살을 탄다고 하면 회사에 상당히 도움이 될 수 있을 것 같고요. 또 한 가지 중요한 거는 이게 어쨌든 지금 한 회사가 ASML로부터 라이센스를 받아서 만들어주고 있는 거 하나 있고 국내에서는 이게 만약에 양산이 된다고 그러면 처음 사례가 되는 거니까.

“그게 상당한 의미가 있겠습니다”

-선단 공정을 이용하는 메모리 회사. 마이크론도 지금 EUV 한다고 이제 얘기했죠. 대만으로는 들어가기는 쉽지 않을 것 같아요. TSMC가 워낙 또 한국 기업들하고 삼성이나 이런 쪽으로 정보가 새어 들어갈까 봐. 어지간하면 한국 기업 장비·소재 기업들은 다 안 받고 있는 상황이고 미팅조차 안 하려고 하고. 미팅을 한다고 하더라도 말을 안 한대요. 왜냐하면 질문을 질문만 해도 그 회사에 뭔가 지금 앞으로 준비하는 것들을 유추할 수 있기 때문에 정말 말을 거의 안 하고 듣고만 있다고 하더라고요.

“파운드리 1등이니까 입장 바꿔 생각해 보면 우리 기업이 그렇다고 생각하면 뭐 이해가 아주 안 되는 건 아니네요”

-아무튼 에스앤에스텍이 투과율 89에서 90%의 라이프타임이 1만 시간에서 2만 시간 정도를 달성하는 풀 사이즈 펠리클의 개발을 완료했다는 소식을 오늘 전해드렸습니다. 다음번에 또 좋은 정보로 찾아뵙겠습니다. 고맙습니다.