디스플레이 장비업체 AP시스템은 올해 3분기 누적으로 반도체 장비 매출이 전년 동기보다 60% 상승했다고 밝혔다.

AP시스템은 연도별 반도체 장비 매출이 지난 2019년 214억원, 2020년 400억원에 이어 올해 3분기 누적으로 559억원으로 늘었다고 13일 밝혔다. 3분기 누적 매출 559억원은 전사 매출의 16%에 해당한다.

AP시스템은 "장기적으로 전사 매출 3분의 1 이상을 반도체 장비에서 올릴 계획"이라며 "최근 반도체장비사업본부가 매출 3000억원 목표를 수립했다"고 밝혔다.

AP시스템의 주력 반도체 장비는 전공정에 사용하는 급속열처리장비(Rapid Thermal Process·RTP)다. 이 장비는 낸드용 급속 열처리장비를 시작으로 지난 2019년 D램 공정에 진입했다.

AP시스템은 RTP 외에 플라즈마 기술을 응용한 반도체 후공정 범프(Bump) 스퍼터와 팬아웃패널레벨패키지(FOPLP) 스퍼터, 마이크로 유기발광다이오드(OLED)용 플라즈마화학기상증착(PECVD) 장비를 고객사에 공급 중이다.

AP시스템은 "메모리 반도체 시장 노하우를 바탕으로 가까운 미래에 비메모리 반도체 시장에 진입하겠다"고 밝혔다.