EUV용 펠리클 투과율 초고속 측정하는 EPTR 장비 납품
첫 고객사에 장비 셋업 완료…이달 말 운용 시작
2022-12-23 장경윤 기자
EUV(극자외선) 솔루션 전문업체 이솔이 EUV용 펠리클의 투과율을 검사하는 장비를 국내에서 첫 상용화했다. 최근 주요 고객사 공정에 해당 장비를 납품한 것으로 파악됐다.
23일 업계에 따르면 이솔은 EUV용 펠리클 검사장비인 'EPTR'을 처음으로 고객사 공정에 설치했다. 해당 장비가 국내에서 상용화된 것은 이번이 처음이다.
EUV용 펠리클은 EUV 노광공정에서 포토마스크를 먼지로부터 보호해주는 초박막 필름 형태의 소모성 소재다. EUV는 기존 공정에서 활용되던 불화아르곤(ArF) 대비 파장의 길이가 14분의 1가량 짧아 더 미세한 회로 구현이 가능하나, 광원 손실이 크다는 단점이 있다. 때문에 EUV용 펠리클이 공정 수율에 영향을 주지 않으려면 투과율이 최소 90%는 넘어야 한다는 게 업계의 분석이다.
EUV용 펠리클의 투과율을 검사하는 장비가 이솔의 EPTR이다. EPTR은 EUV 파장을 활용해 직접 EUV 펠리클의 투과도와 반사도 등을 초고속으로 측정할 수 있도록 설계됐다. 기존 EUV용 펠리클 개발 업체들이 이러한 분석을 하기 위해서는 해외 업체나 국내 연구기관에 별도로 의뢰를 해야 했다. 내부적으로는 ArF 등 기타 광원을 통한 간접적인 측정을 이용해왔다.
이솔은 지난해 4분기 EPTR 장비를 개발했다. 이후 여러 고객사들과 데모 테스트를 진행했으며, 최근 한 고객사에 제품을 납품하는 데 성공했다. 해당 장비는 고객사 팹에 설치가 완료된 상황으로 이달 말부터 본격적으로 운용되고 있는 것으로 알려졌다.
이동근 이솔 부사장은 "EUV용 펠리클 투과율이 공정 수율에 직접적인 영향을 미치는 만큼 투과율을 정확히 측정하는 과정 또한 그 중요성이 점차 높아지고 있다"며 "EPTR을 도입한 고객사는 펠리클 개발과 측정을 더 원활히 진행할 수 있고, 제품을 출고할 때 스펙 데이터를 바로 명시할 수 있게 된다"고 말했다.
이솔은 삼성전자 반도체사업부 출신의 김병국 대표가 2018년 1월 설립한 스타트업이다. EUV 기술과 관련한 전문 인력을 바탕으로 EUV용 블랭크 마스크, 펠리클, 포토레지스트 등 다양한 분야의 장비를 개발하고 있다. 올해 중순에는 EUV 포토레지스트의 성능을 평가하는 장비 '에밀레'의 테스트를 성공적으로 마무리했다.