GST, 대만 주요 칩메이커에 '칠러 장비' 연내 공급 목표

지난해 말부터 전기식 칠러 장비 데모 테스트 진행 중 올해 중순 테스트 마무리해 하반기부터 제품 공급 목표

2022-02-24 장경윤 기자

스크러버 및 칠러 전문업체 GST(글로벌스탠다드테크놀로지)가 대만의 주요 칩메이커를 연내 신규 고객사로 확보하기 위한 준비에 한창이다. 지난해 말부터 해당 업체와 칠러 장비에 대한 데모 테스트를 진행 중으로, 이르면 올 하반기부터 제품 수주를 받을 수 있을 것으로 예상된다. 24일 업계에 따르면 GST는 현재 대만 주요 반도체 제조업체와 칠러 장비에 대한 데모 테스트를 진행하고 있다. 칠러는 반도체·디스플레이 제조 과정에서 챔버 내에 발생하는 열을 흡수하는 온도조절장치다. 온도조절 방식에 따라 냉동기를 활용하는 냉동기식, 열전소자를 활용한 전기식, 저온수를 활용한 열교환기식으로 나뉜다. 이 중 전기식은 냉동기식 대비 온도조절 폭은 다소 제한적이나, 전력효율과 정밀도, 속도 등이 뛰어나다는 장점이 있다. 특히 반도체 공정의 급격한 미세화로 더 정밀한 온도제어 환경이 요구되면서, 전기식 칠러에 대한 수요도 함께 증가하는 추세다. 냉동기식과 전기식의 장점을 결합한 하이브리드형 칠러 장비에 대한 개발 논의도 활발히 진행되고 있다. GST가 대만의 주요 반도체 제조업체향으로 공급을 추진 중인 칠러 장비도 전기식 기반이다. 해당 업체와 지난해 11월부터 데모 테스트를 진행하고 있는 것으로 알려졌다. GST는 올해 중순까지 테스트를 마무리하고 하반기부터 본격적으로 제품 수주를 받는 것을 목표로 하고 있다. 연내 공급 계약이 실제로 성사되는 경우 GST는 해외 매출 비중을 크게 확대시킬 수 있을 것으로 전망된다. 현재 GST는 삼성전자, SK하이닉스 등 국내업체와 미국 마이크론, 중국 YMTC, CXMT 등 해외업체를 주요 고객사로 두고 있다. 지난해에는 마이크론의 미국 팹 외에도 일본, 대만, 싱가포르 팹으로 공급처를 넓혔으며, ST마이크로일렉트로닉스에 제품을 공급하며 유럽 시장에도 본격적으로 발을 들였다. GST 관계자는 "해외 반도체 업체들이 기존 사용하던 냉동기식 칠러를 전기식 칠러로 대체하려는 움직임이 활발해지면서 지난해 해외 매출 비중이 크게 늘었다"며 "올해는 중국, 유럽 등에서 매출을 확대하고 대만의 주요 반도체 제조업체를 비롯한 신규 고객사 확보에 집중할 것"이라고 밝혔다.