알에프세미, 1700V SiC 전력반도체 국내 최초 양산 시작

예스파워테크닉스와 공동 개발…국내선 최초 "2년간 공정 개발로 95% 이상 수율 확보해"

2022-08-04     장경윤 기자
알에프세미가 예스파워테크닉스와 공동 개발한 1700V SiC(실리콘카바이드) 전력반도체를 국내 최초로 양산한다. 해당 제품은 전기자동차 및 전기차 충전기에 활용될 예정이다. 알에프세미는 예스파워테크닉스와의 협업으로 6인치 공정 기반의 1700V SiC 전력반도체 양산을 시작한다고 4일 밝혔다. 국내에서 1700V급 SiC를 개발한 건 이번이 처음이다.  SiC는 재질이 매우 단단해 공정 처리가 어렵고, 웨이퍼 가격이 비싸 85% 이상의 수율이 보장돼어야 제품 경쟁력을 가질 수 있다. 1700V의 고압 측정, 이온 주입, 활성화 공정 및 표면 처리 기술 역시 난이도가 매우 높다고 알려져 있다. 알에프세미는 지난해부터 예스파워테크닉스에 650V, 1200V급 SiC 제품을 위탁 생산해왔다. 품질 고도화를 위한 기술 개발 분야에서도 협력 중이다. 이번에 양산되는 1700V SiC 전력반도체는 예스파워테크닉스에서 제품 설계와 일부 공정을 진행하고, 알에프세미에서 상용화했다. 이진효 알에프세미 대표는 "당사는 전주 공장에서 20여년간 6인치 웨이퍼 팹을 운영하면서 공정, 생산, 개발, 장비 기술을 보유하고 있다"며 "2년간의 공정 개발을 통해 95% 이상의 생산 수율을 확보했다"고 밝혔다. 전력반도체는 높은 전력이 필요한 전기제품이나 전기차, 수소차, 5G 통신망 등에서 전류 방향을 조절하고 전력 변환을 제어하는 필수 반도체다. 이번에 개발된 알에프세미의 1700V급 SiC 전력반도체는 안정성 확보를 원하는 전기자동차와 짧은 충전시간을 위해 고전압 고전류를 필요로 하는 자동차 충전기에 활용된다.