반도체 특수가스 전문업체 티이엠씨(TEMC)는 미국 나스닥 상장사인 인테그리스(Entegris Inc.)와의 반도체 이온 주입용 안전용기 특허 소송에서 승소했다고 1일 밝혔다.

본 소송은 2020년 12월 티이엠씨가 개발한 안전용기에 대해 인테그리스가 서울지방법원에 특허권침해금지 및 손해배상 소송을 제기하며 시작됐다. 그러나 특허심판원은 티이엠씨측의 손을 들어 해당 특허가 무효함을 심결했다. 이에 따라 처음 서울지법에 제기된 소송도 지난 10월 기각됐다. 이후 추가 항소 없이 약 2년 만에 소송은 완전히 종결됐다.

티이엠씨는 "티이엠씨의 독자 기술이 인정된 셈"이라며 "이에 따라 티이엠씨의 국산화 제품의 양산 공급이 더욱 확대될 예정"이라고 밝혔다.

양사가 특허권을 놓고 대치한 안전용기는 반도체 공정에 사용되는 맹독성의 특수가스 누출을 차단하는 기능을 가진다. 이온주입 장비가 운전되는 클린룸 안에 장착되어 사용된다. 티이엠씨는 독자적 기술을 통해 안전용기(SVC Package) 개발 및 제조의 국산화에 성공했으며, 2021년부터 양산을 시작해 고객사에 공급해왔다. 티이엠씨가 자체적으로 개발하기 전에는 글로벌 공급사인 인테그리스 및 린데(Linde plc)가 전 세계 공급을 주도해왔다.

티이엠씨의 유원양 대표이사는 "이번 소송 진행을 통해 티이엠씨의 기술이 인정받게 되어 다행이라고 생각한다"며 "안정적인 소재 공급을 통해 해외 의존도를 낮추고자 하는 것이 티이엠씨가 궁극적으로 추구하고자 하는 가치"라고 설명했다.

한편 티이엠씨는 지난 11월 초 코스닥 상장을 위한 예비심사 승인을 획득했다. 향후에는 신규 제품군을 확대하는 한편, 희귀가스 재활용, 초저온 가스 생산 확대 등 다양한 비즈니스 모델을 구축해 나가며 고객 다변화를 추진할 계획이다.

디일렉=장경윤 기자 jkyoon@bestwatersport.com
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