LGD 파주 10.5세대 OLED 라인, TFT 장비 일찍 반입

양산 전 선행 검증 필요 때문인듯…현재 유틸리티 작업중

2019-06-12 이종준 기자

LG디스플레이가 경기 파주시 P10 공장 10.5세대(2940㎜ x 3370㎜) OLED 생산라인에 미국 어플라이드머티리어즈 박막트랜지스터(TFT) 증착장비를 지난달말 입고시킨 것으로 12일 전해졌다. 장비 입고 후, 현재 가스 연결 등 유틸리티 작업을 하고 있다고 한다. 통상 생산라인 셋업 일정보다 비교적 일찍 TFT 장비가 입고됐다. 유기물 증착장비는 내년 2월 입고로 일정이 잡혀있고, LG디스플레이의 10.5세대 OLED 생산라인 가동 시기는 2021년이다. 양산 전 선행 검증을 위한 움직임으로 보인다. 10.5세대 OLED 생산라인은 옥사이드(Oxide) TFT로는 처음 시도되는 기판 크기다. 10.5세대 라인을 먼저 구축한 중국 디스플레이업체 BOE, CSOT 등은 비정질실리콘(a-si) TFT로 LCD를 생산하고 있다. 비정질실리콘보다 전기특성이 좋은 옥사이드 TFT는 공정 스탭이 많고 생산 난도가 높다. 10.5세대 OLED 라인의 생산능력은 월 3만장 수준으로 알려졌다. LG디스플레이는 10.5세대 TFT 증착에 우선 어플라이드머티리얼즈 장비 2대, 주성엔지니어링 장비 1대를 쓰기로 했다. 처음 시도하는 기판 크기라서 어플라이드머티리얼즈에 더 많은 수의 장비를 할당했던 것으로 보인다. 10세대 이상 TFT 증착장비 시장은 그동안 어플라이드머티리얼즈가 독점했었다. 주성엔지니어링으로서는 처음 만드는 10.5세대 TFT 증착장비다. 그러나 입고 시기는 주성엔지니어링 장비가 어플라이드머티리얼즈 장비보다 앞서 P10 공장에 들어간 것으로 파악됐다. 주성엔지니어링의 10.5세대 TFT 장비 매출은 올해 2분기 혹은 3분기에 반영될 것으로 보인다. LG디스플레이의 광둥성 광저우 8.5세대(2200㎜ x 2500㎜) OLED 생산라인의 1차 투자분(월 6만장 생산능력)에서 TFT증착장비는 주성엔지니어링이 5대, 어플라이드머티리얼즈가 4대를 공급했다. 기존 광저우 LCD 라인에는 주성엔지니어링 장비가 전량 들어간 것으로 전해졌다. 어플라이드머티리얼즈는 지난 5일 대만 타이난시 남부사이언스파크에서 두번째 디스플레이 장비 공장·랩 오픈 기념식을 했다. 30억 대만달러(약 1130억원)를 투자해 5만1000m² 부지에 건물을 지었다. 이날 행사에는 개리 디커슨(Gary E. Dickerson) 어플라이드머티리얼즈 CEO와 천젠런(陈建仁) 대만 부총통 등이 참석했다. 대만 연합보(聯合報)는 "10.5세대 디스플레이 장비 등 기술 전환이 있어나고 있는 상황에서, 어플라이드머티리얼즈는 새 공장을 통해 고객사에 대응 할 것"이라고 전했다. 어플라이드머티리얼즈 코리아 관계자는 "국내에는 대만 수준의 제조 시설이라고 할 만한 곳이 없다"고 말했다.