AFM(원자현미경) 전문 개발업체인 파크시스템스가 '고공행진' 중이다. 지난해 실적도 급성장했다. 지난해 연간 매출은 1121억원으로 전년대비 43%, 영업이익은 312억원으로 전년 대비 77% 급증했다. 첨단 반도체 공정 중심으로 AFM 장비 도입이 늘어난 덕분이다. 파크시스템스는 이런 기세를 이어 올해도 매출 30% 이상 성장을 달성한다는 목표를 잡았다.  

조상준 파크시스템스 전무는 최근 《디일렉》과의 인터뷰에서 올해 사업 전망에 대해 "반도체 시장이 침체기에 접어든 것을 감안해도 올해 매출은 최소 30% 성장할 수 있을 것"이라고 자신했다.

AFM 장비는 미세한 탐침을 시료 표면에 원자 단위까지 접근시키고, 여기에서 발생하는 원자 간의 힘을 통해 표면의 원자 구조를 측정하는 나노계측 장비다. 적용 분야에 따라 크게 연구용과 산업용 장비로 구분된다.

파크시스템스는 전체 매출 비중에서 산업용 장비가 차지하는 비중이 60~70%에 달한다. 특히 반도체 선폭이 나노미터 수준까지 미세화되면서, EUV(극자외선)을 비롯한 첨단 반도체 공정을 중심으로 정밀한 분석능력을 가진 AFM 장비에 대한 수요가 증가하는 추세다.

조상준 전무는 "파크시스템스는 2018년부터 산업용 자동화 AFM 장비 분야에서 시장 점유율 1위를 기록했지만, 전체 AFM 시장을 기준으로 하면 2위였다"며 "그러나 최근 한 시장조사업체에 따르면 지난해 기준 파크시스템스가 전체 AFM 시장에서 1위를 기록한 것으로 나온다"고 설명했다.

이처럼 시장 점유율이 늘면서 매출도 지속적으로 성장세를 보이고 있다. 파크시스템스는 지난해 연 매출 1221억원, 영업이익 312억원을 올렸다. 전년 대비 각각 43%, 77% 증가한 수치다. 기존 제품과 더불어 EUV용 포토마스크 리페어 장비 'NX-MASK', 분석 속도를 높인 'NX-Hybrid WLI', 디스플레이 검사 장비인 'NX-TSH' 등 신규 제품을 주요 고객사에 납품하면서 역대 최고 실적을 기록했다.

파크시스템스는 올해도 30%대의 높은 성장률을 기록할 수 있을 것으로 전망했다. 반도체 시황이 좋지 않지만, 지난해 기준 전년 대비 50~60% 늘어났던 수주잔고가 올해 매출로 잡힐 것으로 보기 때문이다. AFM의 신규 활용처가 지속적으로 늘어날 것으로 전망되는 것도 호재다.

조상준 전무는 "AFM이 첨단 메모리와 비메모리, 후공정 등 어느 분야에 쓰일 수 있는 지는 아직도 연구가 진행되고 있다"며 "회로 패턴이 좁아지면서 AFM의 적용처가 하나씩 늘어나고 있다"고 말했다. 그는 "5년 전에는 전세계 반도체 기업의 20% 정도만이 파크시스템스 장비를 도입했다면, 지금은 95%에 달하는 반도체기업이 파크시스템스의 장비를 활용하고 있다"고 강조했다.

디일렉=장경윤 기자 jkyoon@bestwatersport.com
《반도체·디스플레이·배터리·전자부품 분야 전문미디어 디일렉》