[영상] EUV 펠리클 상용화 시점에 대해
2024-04-07 송윤섭 PD
<인터뷰원문>
진행 디일렉 한주엽 대표 디일렉 이도윤 편집국장
출연 디일렉 노태민 기자
-이번 시간은 EUV 펠리클 상용화 시점에 대해서 얘기를 해보도록 하겠습니다. 노태민 기자 나와 있는데요. 저랑 좀 주고받는 형식으로 편안하게 얘기하는 걸로 하시죠. 노 기자님 안녕하십니까.
“안녕하십니까.”
-EUV 펠리클 상용화를 기다리고 있는 분들이 되게 많아요. 특히 주식 하시는 분들 중에서는 에프에스티(FST)나 에스앤에스텍(S&STECH)에 투자해 놓은 분들이 ‘도대체 언제 상용화가 되는 거야?’ 이런 식의 궁금증이 되게 많으실 것 같은데, 왜 상용화가 늦어지고 있는지에 대해서 오늘 얘기를 할 텐데 기초적으로 취재한 내용들이 있죠?
“결론부터 먼저 말씀드리면 양산 라인에 EUV 펠리클 적용이 늦어지고 있기 때문입니다. 업계에서는 물성이 어느 정도 만족한 것으로 알려져 있는데요. 다만 실험실 데이터만으로는 양산 라인 적용이 어렵기 때문에 삼성 쪽에서 딜레이를 하고 있는 상황입니다.”
-부담을 좀 갖고 있다. 일단은 위험 부담을 갖고 양산 라인에 넣어봐야 되는데, 혹시 모르게 이 펠리클이 깨질 수도 있어서, 깨지면 그 파편이 그 비싼 몇 천억원 하는 EUV장비 안에 돌아다니니까, ‘그 클리닝을 어떻게 해야 되는 것인가?’라는 것에 대한 고민, 부담 이런 것 때문에 내부적으로 고민들이 좀 있는 것 같은데, 차차 말씀드리기로 하고. 펠리클이 무엇인지 설명을 좀 해주시죠.
“펠리클은 간단하게 말하면 회로도가 그려진 포토마스크를 보호하는 하나의 껍데기라고 생각을 하시면 되는데요. 해당 부품을 장착하면 생산 속도는 좀 줄어들지만 EUV포토마스크(5억원~10억원)를 보호할 수 있다는 장점이 있습니다.”
-생산 속도는 줄어든다는 게 이거 투과율 때문에 그런 거죠?
“맞습니다.”
-투과를 해도 완전 투명이 아니니까 (펠리클이)EUV 빛이 흡수를 많이 하니까. 일부 빛을 먹는 게 생기면 파워가 좀 떨어지기 때문에 아마 생산 속도는 줄어든다라고 표현을 하신 것 같고. 계속해 주시죠.
“현재 삼성은 펠리클을 적용하지 않고 EUV 공정을 진행하고 있는데요. 이로 인해서 포토마스크 같은 경우에는 조금 더 많이 교체해야 하는 상황입니다. (업계에서도) EUV 펠리클 양산을 좀 많이 기다리고 계신데, 국내에서는 에스앤에스텍이랑 에프에스티 등이 개발을 하고 있고, 삼성전자도 이 기업들에 2021년도에 지분투자를 해서 지금 같이 개발에 나서고 있는 상황입니다.”
-에스앤에스텍, 에프에스티에 각각 투자 많이 했죠. 몇 백억원씩 한 것 같은데요.
“맞습니다. 2020년도에 에스앤에스텍에 658억원 투자를 해서 8% 지분을 획득했고요. 2021년도에는 에프에스티에 430억원 투자해서 6.9% 지분 획득했습니다.”
-EUV 펠리클이 마스크에 먼지가 붙는 거를 방지를 해주는데, EUV 펠리클 없이 쓰면 마스크가 붙을 때마다 갖고 와서 리페어 하고 해야 되니까. 또 리페어 하다 보면 계속 리페어 할 수도 없고 버려야 되니까 비용이 좀 드는데도 불구하고 아직은 적용을 하지 않고 EUV 공정을 한다. 아까 잠깐 말씀드렸지만 ‘펠리클이 깨질 수 있다’라고 했는데 그거는 어떤걸 얘기하는 겁니까?
“EUV 펠리클이 깨질 수 있는 문제 같은 경우에는 EUV 장비가 워낙 고에너지를 쏘기 때문에 내구성이 확인이 되지 않으면 깨지는 위험이 있습니다. 현재 (상용화 된) EUV 펠리클 같은 경우에는 어느정도 가이드라인이 나와 있지만, 지금 국산화하고 있는 EUV 펠리클 같은 경우에는 아직 가이드라인이 없기 때문에 언제 깨질지 모른다라는 위험성에 빠져 있는 상황인 거죠.”
-빛이 이렇게 쏘면 어쨌든 열이 나니까, 예를 들어서 어떤 부품 쓸 때도 한 ‘100번 쓰고 나면 갈아줘야 됩니다’라든지 ‘50번 쓰면 갈아줘야 됩니다’라든지, 실제로 양산 라인에서 돌려본 적이 없기 때문에 이런 데이터가 아직 없는데, 펠리클 자체가 빛을 많이 쏘면 유리는 아니지만 깨졌을 때 파편이 된다거나 들러붙는다거나 이렇게 되면 장비를 돌리지 못하기 때문에 생기는 문제인 것 같은데, 지금 투과율 데이터는 다 나와 있지 않습니까?
“투과율은 나왔습니다. 에스앤에스텍은 3월에 투과율을 공개했는데요. 91%정도 나오고요. 에프에스티는 정확하게 확인은 안 되지만 90%를 웃도는 것으로 알고 있습니다.”
-내구성은 뭐라고 얘기합니까?
“내구성 면에서는 실험실 단에서는 크게 문제되지 않는 수준이라고 합니다. 다만 실제 라인과 실험실에서의 환경은 너무나도 다르기 때문에 EUV라인을 테스트 베드로써 사용을 해야 되는데, 그게 삼성 입장에서는 망설여지고 있는 상황인 거죠.”
-미쓰이화학이라는 회사가 해외의 텔레다인이라는 회사로부터 펠리클을 받아와서 그 가이드를 만들어서 판매를 하는 판매권을 ASML쪽이랑도 같이 합의를 봤고, 인텔도 미쓰이화학 제품을 쓰는 것 같고 TSMC도 일부 본인들이 만들어서 쓰던 것을 함께 미쓰이화학 것도 일부 받아오는 것으로 알고 있는데, 삼성이 무슨 이유에서인지 미쓰이화학 거를 안 쓰는 건지? 미쓰이화학에서 안 파는 건지, 물량이 딸려서 그러는 건지는 모르겠지만 미쓰이화학 거를 안 쓰고 에스앤에스텍하고 에프에스티에 투자하면서 독려를 했단 말이죠. ‘개발 좀 열심히 해보라’라고. 결국 말씀하신 내용은 이거 들어가서 실제로 돌려봐야 되는데 언제 깨질지 모르니까, 데이터가 없으니까, 깨지면 장비를 클리닝을 해야 되기 때문에 쓰는 게 좀 망설이고 있다. 내부에서도 아마 그랬다는 거잖아요?
“맞습니다.”
-경쟁사인 TSMC같은 경우는 어떻습니까? 거기도 지금 펠리클을 쓰긴 쓰는데, 어디서 쓰는지 전혀 정보가 없어요. 정보가 전혀 없는데 TSMC는 어때요?
“TSMC는 원래 미쓰이화학에서 조달을 했었는데요. 최근에는 자체적으로 조달도 어느 정도 하고 있는 것으로 알고 있습니다. 정확히 알려지지는 않았지만, 자국에서 개발을 해서 EUV 펠리클을 양산에 성공했고, TSMC는 테스트 베드로서 자신의 EUV 라인을 써본 거죠. 그렇기 때문에 실증 데이터가 있어서 EUV 펠리클을 적용을 할 수가 있는 건데, 삼성은 아직 그런 상황은 아닌 것 같습니다.”
-몇 번 깨져보기도 했다고 얘기도 들었던 것 같은데요.
“깨지면 클리닝을 하고 라인을 멈춰야 되는데.”
-학습 비용이죠. 일종의 학습 비용. 삼성이 결국은 그 학습 비용을 치를 것인가 언제 치를 것인가에 대한 결단. 이게 결국은 지금 말씀하신 거 들어보면 EUV 펠리클 물성은 어느 정도 확보가 되어 있고. 물성이라는게 투과율과 내구성 확보가 돼 있다고 얘기하는데, 실제로 들어가서 돌려봐야 되는데, 삼성이 그 결단을 못 내리고 있다. 정도로 해석하면 되겠습니까?
“맞습니다. 결국은 EUV펠리클 라인 적용을 하기 위해서는 교체 주기 등의 실증 데이터가 필요한데 그게 지금 안 쌓였기 때문에 적용을 아예 할 수 없는 상황인 거죠.”
-안 쓰면 계속 안 쌓이는 거 아녜요?
-지금 투자한 이유가 없죠. 근데 결단을 빨리 내려야 되겠네요.
“언젠가는 할 것 같은데, 아직은 저희에게 공개된 정보는 없습니다.”
-지금 메모리 같은 경우는 하이닉스, 마이크론 이런 쪽은 다 감산하겠다고 얘기를 했고, 그렇다라고 하면 예전에는 메모리가 가격도 좋고 잘 팔릴 때는 ‘테스트할 시간이 어디 있어?’ 하고 공장 돌리기 바빴는데, 지금은 좀 둔화돼서 재고가 많이 쌓여 있으니까. 생산량을 좀 줄인다라고 하면 그걸 좀 테스트할 수 있는 여력은 좀 생길 것 같다라는 생각도 들기도 하지만, 그건 또 삼성의 입장이니까. 에스앤에스텍이나 에프에스티회사는 물론이고, 그 회사에 투자를 한 그쪽 회사 투자자들도 빨리 삼성에 넣어서 몇 개월이라도 돌려보고 깨지면 언제 깨지는지? 3~4번 깨져봐야 데이터가 좀 쌓이지 않겠어요? 이 정도 돌리니까 깨지네? 이러면서.
“회사 측에서는 한 2024년도 정도에는 양산을 시작하지 않을까라고 낙관적으로 얘기를 하고 있습니다.”
-이쪽 펠리클 활용해서요?
-에스앤에스텍이랑 에프에스티서요?
“에스앤에스텍이랑 에프에스티같은 경우에는 그렇게 얘기를 하고 있는데, 업계에서는 한 2025년 정도 돼야 적용 가능하지 않을까? 그런 식으로 말씀을 하시는 분들이 있습니다.”
-2025년까지나요?
-제가 알기로는 3년째 ‘곧 상용화, 곧 상용화, 상용화 목전.’ 이렇게 계속 나왔던 것 같은데 계속 희망 고문을 앞으로도 3년을 더 해야 한다는 얘기네요?
“그러니까 결국은 삼성의 결단에 달려 있는데 아무래도 지금 가동률이 좀 많이 떨어져 있기 때문에 지금은 테스트하기는 적기가 아닌가? 하는 생각이 들고 있습니다.”
-가동률이 떨어졌다고 이렇게 함부로 얘기하시면 또 우리가 모르지 않습니까? 감산은 없다고 얘기했는데.
“파운드리 같은 경우에는 지금 조금 떨어져 있는 상황이니까.”
-알겠습니다. 다음 주에 또 좋은 정보 갖고 오시기 바랍니다. 고맙습니다.
“감사합니다.”