RFHIC, 국내외 반도체장비社와 마이크로웨이브 제너레이터 퀄테스트 돌입
주요 장비회사에 마이크로웨이브 제너레이터 공급 추진
현재 퀄테스트 진행 중…이르면 연내 공급 가닥 예정
2023-04-10 장경윤 기자
통신용 화합물 반도체 전문기업 RFHIC가 반도체 장비 분야로 사업 확장을 추진한다. 플라즈마 관련 장비를 자체 개발해, 지난해 하반기부터 글로벌 주요 고객사의 퀄테스트를 진행 중이다. 이 테스트 결과에 따라, 이르면 연내 상용화가 가능할 전망이다.
10일 업계에 따르면 RFHIC는 글로벌 주요 장비업체인 A사, 국내 S사와 마이크로웨이브 제너레이터에 대한 퀄테스트를 진행 중이다.
마이크로웨이브 제너레이터는 높은 주파수와 짧은 파장을 갖춘 마이크로파를 생성하는 장치다. 물질을 가열하는 데 흔히 쓰이는 전자레인지에서부터 반도체, 의료 등 다양한 산업에 활용된다.
반도체 산업에서는 플라즈마를 생성하는 장치로 쓰인다. 플라즈마는 기체 상태에서 추가적으로 에너지를 인가해 만들어지는 제 4의 물질 형태다. 웨이퍼에서 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 깎아는 식각, 화학반응을 일으켜 웨이퍼 표면에 박막을 증착하는 CVD(화학기상증착) 등의 반도체 전공정에 적용되고 있다.
RFHIC는 지난해부터 신사업의 하나로 RF에너지 사업부문을 만들었다. 이 사업부문을 통해 플라즈마를 활용하는 전세계 주요 반도체 장비업체에 마이크로웨이브 제너레이터 공급을 추진해왔다. 지난해 하반기부터 국내외 주요 장비기업과 퀄테스트에 돌입했다. 연내 테스트 통과하는 것이 목표다.
RFHIC의 마이크로웨이브 제너레이터는 기존과 다른 플라즈마 생성 방식을 가장 큰 특징으로 한다. 그간 제너레이터는 고주파를 발생시키는 진공관의 일종인 마그네트론을 활용해왔다. 반면 RFHIC의 제너레이터는 트랜지스터를 기반으로 한 반도체 방식이다. 트랜지스터는 전자 신호 및 전력을 증폭하거나 스위칭 역할을 하는 반도체 소자다.
반도체 방식의 제너레이터는 기존 진공관 방식 대비 기기 소형화에 유리하고 사용 수명이 10배가량 길다. 또한 주파수를 안정적으로 제어할 수 있어, 매우 높은 정밀성이 요구되는 반도체 장비 산업에 적합하다.
RFHIC의 기존 사업과 시너지 효과도 창출할 수 있다. RFHIC는 GaN(질화갈륨) 기반의 트랜지스터 및 전력증폭기를 자체 개발 및 생산하고 있다. 때문에 마이크로웨이브 제너레이터에 필요한 핵심 부품을 효율적으로 조달할 수 있다.
RFHIC 관계자는 "RF에너지 분야로 사업을 확대하고자 새로운 방식의 고부가 마이크로웨이브 제너레이터를 개발했다"며 "고객사 및 시장 상황에 따라 일정이 변동될 수 있으나, 이르면 연내 관련 매출이 발생할 수 있을 것"이라고 밝혔다.
디일렉=장경윤 기자 jkyoon@bestwatersport.com
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