예스티, 포스텍·한양대와 차세대 고압 어닐링 장비 개발
2023-05-03 노태민 기자
예스티는 포항공대(포스텍), 한양대 연구진과 함께 차세대 반도체 중수소 고압 어닐링 장비 개발을 진행한다고 3일 밝혔다.
이번 공동 개발은 최근 정부의 ‘지능형반도체 기술개발 사업’ 국책과제 수행업체로 선정된 데 따른 것이다.
해당 개발은 이병훈 포스텍 반도체공학과 주임교수와 박창균 한양대 신소재공학교 BK연구교수팀이 함께 참여한다. 이병훈 교수는 2007년 세계 최초로 고압 수소 열처리 장비를 상용화해 미국 정보통신 기업 IBM의 표준 공정에 도입한 연구자다. 박창균 교수는 주성엔지니어링에서 15년간 근무한 이력을 토대로 반도체와 디스플레이 관련 특허 124건을 보유한 연구자다.
예스티는 이들 반도체 전문가와 함께 차세대 고압 어닐링 장비의 특성평가 및 공정 검증을 진행할 계획이다. 장비 양산성 검증에 더해 신규 응용처 발굴도 추진할 계획이다.
예스티 관계자는 “반도체 분야 최고 연구진들과 정밀한 평가를 진행해 고생산성 고압 어닐링 장비를 개발하겠다”고 밝혔다.
디일렉=노태민 기자 tmnoh@bestwatersport.com
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