X레이 검사장비 제작업체 자비스 자회사인 자비스옵틱스는 최근 ‘3차원 고해상도 X레이 현미경 나노CT 장비’를 개발하는데 성공했다고 3일 밝혔다.

국내에서 이 장비를 국산화한 건 이번이 처음이라고 회사 측은 설명했다. 이 장비는 엑스선을 사용해 대상물을 훼손하지 않고도 내부 구조를 3차원으로 시각화하는 비파괴 검사장비다. 엑스선을 통해 회전 중인 대상물을 여러 각도로 촬영하고, 이를 통해 수집된 데이터를 3차원 이미지로 만드는 구조다. 대상물의 내부 구조를 100나노미터(nm)까지 정밀하게 확인할 수 있다. 

자비스 관계자는 "현재 연구소 단위에서 사용할 수 있는 데모장비 개발을 마친 상태"라며 "고해상도 엑스선 나노 CT장비는 해외 몇몇 기업이 독식하고 있는 고부가 장비"라고 설명했다.

해당 장비는 하나의 엑스선 장비로 밀리미터급 대면적에 대해서는 마이크로미터급 해상도를, 마이크로미터급 대면적에 대해서는 나노급 해상도를 구현할 수 있다. 멀티배율 변환 모드 기능도 탑재했다.

회사 측은 이 장비가 공장 자동화 및 다양한 산업 현장에서 사용될 것으로 기대하고 있다. 반도체 정밀 검사, 배터리 음극·양극 활물질 파티클 분석, 치의학 및 의공학 시료 분석 등에 쓰일 것이란 설명이다. 

회사 관계자는 "올 상반기 개발을 마치면, 하반기부터 자비스를 통해 본격 판매에 나설 예정"이라고 말했다.

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