파크시스템스, EUV 마스크 리페어 장비 공급 확대 나섰다
지난해 12월 출시한 EUV 마스크 리페어 장비 수주 잇달아 기존 2대 공급 이어 국내 반도체기업과 중국기업에 추가 공급
AFM(원자현미경) 전문 기업 파크시스템스이 EUV(극자외선) 마스크 리페어 장비 공급을 본격화하고 있다. 작년 말 2대를 주요 반도체 기업에 공급한데 이어 지난 1분기에도 2대를 추가로 공급했다. 신규 고객사는 국내 주요 반도체 제조기업과 중국 마스크 기업이다.
16일 반도체 업계에 따르면 파크시스템스는 올 1분기 국내 반도체 제조기업과 중국 마스크 기업에 EUV 마스크 리페어 장비 ‘Park NX-Mask’를 공급한 것으로 확인됐다. 앞서 이 회사는 2021년 12월과 지난해 말에도 국내외 반도체 기업 2곳에 장비 2대를 공급한 바 있다.
‘Park NX-Mask’는 EUV 마스크 위의 파티클과 범프 등을 제거하는 장비다. 대만 파운드리 T사의 요청으로 파크시스템스가 자체 개발한 장비다. 장비 개발은 지난 2021년 말에 끝냈으며, 공식 출시는 지난해 12월에 했다. 이 장비를 사용하면 반도체 제조사들은 EUV 마스크의 결함을 제거할 수 있어 고가의 EUV 마스크 사용수명을 늘릴 수 있다.
EUV 마스크 수명을 개선할 수 있다 보니 국내·외 반도체 제조사들의 관심도 높은 상황이다. 지난해 12월 출시 이후 지금까지 누적 수주량은 10대에 달한다. 조상준 파크시스템스 전무는 “EUV 마스크가 워낙 고가이다보니, 결함이 생겼을 때 이를 리페어해 마스크 수명을 늘리고자 하는 수요가 생각보다 많았다”고 설명했다.
해당 리페어 장비는 파크시스템의 기존 주력장비인 AFM 장비에 비해 대당 가격이 2배가량 비싸다. AFM 기본 장비 가격은 대당 15억~30억원 수준이다. 따라서 이 장비 공급이 늘게 되면, 올해 회사 매출 신장에도 상당한 도움이 될 전망이다.
파크시스템스는 ‘Park NX-Mask’ 외에도 반도체 후공정 및 패키지 3D 측정에 사용되는 ‘NX-Hybrid WLI’ 장비 출고도 진행하고 있다. 최근 칩렛 등 3D 패키징 중요성이 커지면서 향후 매출 확대에 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
신규 장비 공급 및 AFM 수요 증가에 힘입어 파크시스템스은 올 1분기 매출 275억원을 기록했다. 전년동기 대비 54.3% 증가했다. 영업이익은 전년동기 대비 267.8% 증가했지만, 증권가의 전망치를 대폭 하회했다. 연구개발 인력 채용, 아큐리온 인수, 해외 판매 수수료 등의 1회성 비용이 영향을 끼친 것으로 추정된다.
2분기 및 하반기 실적도 견조한 흐름을 보일 것으로 예상된다. 파크시스템스의 올 1분기 기준 수주잔고는 전년동기대비 16% 증가한 735억원 규모다.
파크시스템스 관계자는 “신규 장비 및 AFM 장비에 대한 시장 수요가 증가하고 있어 올 1분기 수주잔고가 전년동기 대비 대폭 증가했다”며 “반도체 업황이 좋지 않지만 그럼에도 올해 30% 수준의 성장이 가능할 것으로 내부적으로 예상하고 있다“고 설명했다.
디일렉=노태민 기자 tmnoh@bestwatersport.com
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