국내 포토레지스트(PR) 제조기업 동진쎄미켐이 '극자외선(EUV) 네거티브 PR' 개발에 성공했다. 현재 고객사 제품 공급을 위해 양산에 돌입했다. 지난해 12월 'EUV 포지티브 PR'을 삼성전자에 공급한 데 이어 두 번째 EUV PR 공급이다.

7일 업계에 따르면 동진쎄미켐은 EUV 네거티브 PR 양산을 시작했다. PR은 반도체 회로 패턴을 형성시키는 노광 공정의 핵심소재다.

PR은 크게 빛을 받은 부위를 제거하는 포지티브 타입과 빛을 받지 않은 부분을 제거하는 네거티브 제품으로 분류된다. 노광 공정에서는 포지티브 PR과 네거티브 PR이 함께 사용된다. 포지티브 PR은 하이-레졸루션 특성을 가지고 있어 미세 회로 패턴 생성에 적합하다. 네거티브 PR은 식각 저항성이 우수하다는 특징이 있다. 

동진쎄미켐의 신제품은 삼성전자 일부 공정에 적용되기 시작한 것으로 알려졌다. 구체적으로 삼성전자의 D램 D1a 공정에 사용된다. D1a는 DDR5와 LPDDR5를 생산하는 14nm급 선단 공정이다. 양산이 시작된 만큼 빠른 시일 내에 확대 공급될 것으로 예상된다. 이 공정에 들어가는 PR은 그동안 일본 스미토모화학이 공급했다. 

소재업계 관계자는 "기존 D1a 공정에는 스미토모화학이 EUV PR을 공급하고 있었다"며 "최근 동진쎄미켐이 보다 나은 물성의 EUV PR을 개발해 삼성전자 공급을 시작하게 됐다"고 말했다. 이 관계자는 "일본 국부펀드의 JSR 인수 추진로 EUV PR 시장 구도가 변화하는 가운데 동진쎄미켐의 이번 양산은 매우 의미가 깊다"고 덧붙였다.

이와 관련, 글로벌 EUV PR 시장은 일본 기업인 JSR, 도쿄오카공업(TOK), 스미토모화학 등이 과점하고 있다. 국내 반도체 기업은 2019년 일본의 반도체 소재 수출 통제로 EUV PR 조달에 애를 먹었던 경험이 있다. 이런 가운데 지난달 일본 일본 국부펀드인 산업혁신투자기구(JIC)가 반도체 소재 공급망 강화를 위해 글로벌 PR 1위 기업 JSR 지분 공개 매수에 나선다고 밝혔다. 사실상 JSR이 국유화되는 것이기 때문에 삼성전자와 SK하이닉스 등도 JSR 국유화 이후 PR 공급망 변화를 예의주시하는 것으로 전해졌다. 

PR 업계 관계자는 "이번 제품 외에도 동진쎄미켐은 선단 공정용 EUV PR 추가 공급을 준비하고 있는 것으로 알고 있다"며 "포지티브 PR과 네거티브 PR을 기술력을 모두 갖췄기 때문에 EUV PR 업계에서 확실하게 자리 잡은 것으로 보인다"고 평가했다.

EUV PR 공급이 확대되면서 동진쎄미켐 매출도 확대될 것으로 전망된다. 지난해 동진쎄미켐의 PR 매출액은 2300억원 규모인 것으로 알려졌다. 

디일렉=노태민 기자 tmnoh@bestwatersport.com
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