디스플레이 열처리 장비업체 비아트론이 스팟빔(spot beam)·파이버레이저(fiber laser) 소스 방식 레이저리프트오프(LLO) 장비를 개발, 고객사와 양산성 평가를 하고 있는 것으로 29일 확인됐다. 기존 라인빔(line beam)·엑시머레이저(excimer) 소스 방식을 대체하겠다는 목표로 수행한 디스플레이 분야 국책 과제의 성과다.
비아트론은 올해 4분기 고객사와 양산성 평가를 끝내고, 내년부터 LLO장비 매출이 발생할 것으로 기대하고 있다. 전통 고객사인 국내 LG디스플레이를 비롯, 현재 매출 비중이 가장 높은 중국 디스플레이업체와 관련 협의를 하고 있는 것으로 전해졌다.
비아트론은 기존 장비보다 유지비용을 낮추면서 생산능력을 높이겠다는 목적으로 스팟빔·파이버레이저 방식을 채택했다. 비아트론 관계자는 "스팟빔 방식을 LLO장비에 처음 도입했다"며 "LLO장비뿐 아니라 향후 레이저결정화장비에도 적용할 수 있을 것으로 보고 있다"고 말했다. "레이저 결정화 샘플 테스트에서도 긍정적인 결과가 나오고 있다"고도 했다.
비아트론의 LLO장비에서 광학계는 국내 엘브이아이테크놀러지가 만든다. 외국 기업에 의존하던 광학계를 국내 업체 제품으로 대체하는 효과와 더불어, 파이버레이저 광학계는 기존 엑사이머레이저 대비 광학계 설치 면적을 1/10 가량으로 줄일 수 있다고 한다.
LLO 공정은 레이저(Laser)로 열을 가해, 캐리어(carrier) 유리를 폴링이미드(PI)기판에서 떼어내는(Lift Off) 작업을 말한다. PI를 기판으로 쓰는 플렉시블 OLED 생산에 필수 공정이다. 얇고 평평한 폴리이미드 기판 제조에는 현재 PI 용액(바니시)을 유리 위에 얇게 코팅한 뒤, 구워 고체화하는 방법을 쓰고 있다. 공정 후반부에는 운반체 역할을 했던 유리를 떼어내야 한다.
초기에는 AP시스템의 엑시머레이저 소스 LLO 장비가 디스플레이업체의 플렉시블 OLED 생산라인 대부분에서 채택됐다. 현재 필옵틱스 등의 고체 레이저(DPSS) 소스 장비가 AP시스템 장비를 대체하고 있다. DPSS 소스 장비의 가격이 엑시머레이저 소스 장비보다 싸고, 더 적은 비용으로 유지할 수 있기 때문이다.
디스플레이분야 레이저 장비업체 관계자는 "LLO 장비 시장에 그동안 뛰어든 장비회사들이 많았다"며 "플레이어가 한 곳 더 늘었다고 특별한 얘기는 아닐 것"이라고 말했다. "LLO 장비를 만들면서 레이저결정화로 올라가려는 시도들이 많이 있었지만 결과는 모두 좋지 않았다"며 "원리는 비슷하지만 결과물이 달라서 쉽지 않을 것"이라고도 했다.
레이저결정화 공정은 보통 ELA(Excimer Laser Annealing)라고 불린다. 비정질실리콘(a-Si) 박막에 균일도가 높은 레이저를 쪼여 순간적으로 녹였다가 굳히는 공정이다. 엑시머레이저 사용이 일반적이다. 이 분야에서는 AP시스템의 ELA장비가 독보적 지위를 가지고 있다.
비아트론은 지난해 사상 최대 실적인 1291억원 매출, 292억원 영업이익을 기록했다. 작년 매출액의 75% 가량이 PI 큐어링(Curing) 장비에서 발생했다. 액상 PI에 열을 가해 고체화하는 장비다.