산업 AI 솔루션 기업 가우스랩스(Gauss Labs)가 박막 증착 공정에 이어 노광, 식각, 화학적기계연마(CMP)까지 인공지능(AI) 솔루션  '판옵테스 VM'를 확대 적용하는 계획을 추진한다. 이르면 내년 중으로 주요 공정에 판옵테스 VM을 적용할 계획이다.

김무성 가우스랩스 부사장은 22일 서울 강남구 코엑스에서 열린 '옴디아 한국 테크놀로지 컨퍼런스 2023'에서 기자들과 만나 "노광, 식각, CMP도 (AI 솔루션을) 활발하게 평가하고 있다"며 "내년에는 양산에 적용될 것으로 보인다"고 말했다.

판옵테스 VM은 가우스랩스가 개발한 일종의 가상 계측 AI 솔루션이다. 센서 데이터를 통해 제조 공정 결과를 예측한다. 다양한 장비에서 발생하는 센서데이터는 솔루션의 로우데이터가 되고, 이중 키 팩터를 모델링해 AI 가상 계측을 진행하는 방식이다. 결함이 발생하는 경향성 추적이 용이해 공정 샘플링 케이스도 줄일 수 있다. 모델링에는 10만개 규모 모델이 들어갔다. 

김 부사장은 "시뮬레이션 바탕으로 말씀드리면 판옵테스 VM을 통해 샘플링을 대략 40~60% 줄일 수 있다"고 자신했다. 판옵테스 VM을 양산 라인에 적용하면, 계측 장비를 대폭 줄일 수 있다는 이야기다. 

현재 SK하이닉스 박막 증착 공정 계측에 선적용되고 있다. SK하이닉스는 판옵테스 VM을 통해 공정 산포 평균 21.5%를 개선하고 수율이 향상됐다고 밝힌 바 있다. 산포는 제품들의 품질 변동 크기를 의미한다.

회사는 장비 간 컨디션 차이와 제조사가 상이한 것도 AI 솔루션에 반영했다고 밝혔다. 집합형 알고리즘과 적응형 알고리즘을 통해 장비의 데이터 변화를 감지하는 형태다. 김 부사장은 "판옵테스 VM이 공정에 최적화된 방식이 아닌 알고리즘을 통해 가상 계측을 진행한다"며 "(타 산업 AI 솔루션 대비) 타 산업 및 타 공정 적용에도 용이하다"고 설명했다. 이어 "다만 현재는 반도체 분야에 집중할 계획"이라고 부연했다. 

마지막으로 김 부사장은 상대적으로 적은 비용으로 솔루션 적용이 가능하다고 귀띔했다. 그는 "(판옵테스 VM의 경우) 컴퓨팅 리소스를 효율적으로 사용하도록 설계돼 있어 값비싼 하드웨어를 투자할 필요가 없다"며 "이미지 계측(IM) 솔루션까지 활용한다면 그래픽처리장치(GPU) 투자가 필요하지만, 가상 계측(VM)만 사용하면 중앙처리장치(CPU)로도 충분히 대응 가능하다"고 강조했다.

한편, 가우스랩스는 SK하이닉스 2020년 8월 자본금 전액(5500만달러)을 출자해 만든 자회사다. 미국 실리콘밸리와 서울에 사무실을 운영 중이며, 60명가량 임직원이 근무 중이다. 석·박사 인력은 70%를 넘는 것으로 알려졌다. 

디일렉=노태민 기자 tmnoh@bestwatersport.com
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