HPSP, 벨기에 Imec과 공동연구개발 협약 체결
2024-01-15 노태민 기자
HPSP는 고압어닐링공정(HPA)과 고압산화공정(HPO) 관련 연구 개발을 강화하기 위해 벨기에 Imec과 공동연구개발 프로젝트 협약을 체결했다고 15일 밝혔다.
공동연구개발 협약식은 지난 10일 벨기에 루벤에 위치한 Imec 본사에서 열렸으며, HPSP와 Imec 주요 임원 및 관계자들이 참석했다. 김용운 HPSP 대표는 "Imec의 최첨단 연구 프로그램을 통해 HPSP의 고압 공정 장비가 차세대 반도체 제조 공정에 확대 적용될 수 있을 것으로 기대한다"라고 말했다. 이번 협약을 통해 차세대 반도체 제조공정에 HPA와 HPO를 적용하기 위한 연구를 진행할 것으로 보인다.
HPSP는 "Imec과의 공동연구를 통해 고객이 신뢰할 수 있는 장비회사로서의 위상을 높여 나아갈 계획이다"라며 "궁극적으로 반도체 생산 기업들이 제품의 성능과 신뢰성을 높여 최첨단 제품을 생산할 수 있도록 지원할 방침"이라고 말했다.
한편, HPSP는 국내에 R&D 센터 개관을 준비 중이다. R&D 센터에서는 HPA 및 HPO 기술을 기존 적용 공정 외 타 공정으로 확장할 수 있는 공정 기술 개발을 추진한다.
디일렉=노태민 기자 tmnoh@bestwatersport.com
《반도체·디스플레이·배터리·전장·ICT·게임·콘텐츠 전문미디어 디일렉》