피에스케이, 베벨에처 특허 소송 최종심 일부 승소...고객사 공급 시작되나
남은 특허 소송 3건 결과는 연내 나올 듯
2025-04-17 노태민 기자
피에스케이가 램리서치와의 특허 관련 소송 최종심에서 2승 1패를 거뒀다. 지난해 결과가 나온 2심 판결 결과와 같다. 업계에서는 피에스케이가 이번 최종심 결과를 바탕으로 연내 고객사에 베벨 에처 장비를 공급할 가능성이 크다고 보고 있다.
17일 업계에 따르면 최근 대법원에서 진행된 피에스케이와 램리서치간 특허 소송 최종심에서 피에스케이가 일부 승소했다. 피에스케이가 2건을 승소했고, 1건은 패소했다.
피에스케이가 승소한 소송은 '2023후11500(2심:2022허6570)', '2023후11197(2심:2022허4994)' 2건으로 심리불속행기각됐다. 패소한 소송은 '2023후11425(2심:2022허6587)'이다. 해당 소송도 심리불속행기각됐다. 심리불속행기각은 대법원이 상고를 기각하고 원심을 그대로 확정하는 제도다.
최종심 결과가 나오면서 피에스케이와 램리서치 간 특허 소송은 이제 3건만이 남았다. 이 3건(2심)에 대한 판결결과는 연내 나올 예정이다.
베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 불안정하게 형성된 금속, 비금속막을 제거하는 데 쓰이는 장비다. 베벨 에처 시장 규모는 3000억원에서 5000억원 규모인 것으로 알려져 있다. 피에스케이가 베벨 에처 장비를 개발하기 전까지 베벨 에처 시장은 램리서치가 독점하고 있었다.
램리서치의 베벨 에처 특허는 원래 국내 기업 소슬이 보유하고 있었으나 참엔지니어링의 소슬 인수, 램리서치의 참엔지니어링 베벨 에처 사업 인수 등을 거치면서 램리서치가 최종 보유하게 됐다.
두 기업 간 특허 소송이 발생한 건 2021년이다. 피에스케이는 지난 2021년 다년간의 R&D를 통해 엣지 클린(베벨 에처) 장비 개발에 성공했다. 램리서치는 경쟁사의 베벨 에처 시장 진출을 막기 위해 법적 대응을 시작했다. 램리서치는 특허 침해 관련 내용증명을 피에스케이에 보냈고, 이후 6건에 달하는 소송전으로 이어졌다.
증권업계에서는 피에스케이가 올해 본격적으로 베벨 에처 시장에 진출할 것으로 보고 있다. 남궁현 신한투자증권 연구원은 "신규 장비 베벨 에처의 본격적인 매출 확대가 나타날 것으로 예상한다"고 전망했다.
한편, 피에스케이는 베벨 에처 특허 분쟁건에 대해 "경쟁사와의 특허 분쟁에 대해서는 답변하기 힘들다"고 말했다.
디일렉=노태민 기자 tmnoh@bestwatersport.com
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