세메스, 반도체 제조용 고온 매엽인산 세정장비 개발
세메스 "연내 양산 계획"
2024-05-07 이기종 기자
반도체 장비업체 세메스가 반도체 제조에 필요한 고온 매엽식 인산 세정장비 '블루아이스 프라임'을 개발했다고 7일 밝혔다. 세메스는 고온 매엽인산 세정장비를 연내 양산할 계획이다.
세메스는 "그간 매엽인산 세정장비는 웨이퍼 상부에 170℃ 이상 고온 인산(H3PO4)을 토출해 패턴면을 처리할 때 식각 균일도와 불순물 제거 기술 확보가 어려워 많은 기업들이 개발에 실패했다"며 "세메스는 자체 개발한 척(Chuck)을 장착해 웨이퍼를 170℃ 이상 고온으로 가열해 웨이퍼 중앙과 가장자리 온도 균일도를 높이고, 기존 배치 타입 습식 세정 한계로 지적됐던 불순물 제거율을 90% 이상 높여 매엽인산 공정 기술 차별화에 성공했다"고 설명했다.
또, 세메스는 작업 과정에서 발생하는 오폐수를 최소화하기 위해 약액 재사용 기술을 개발해 90% 이상 약액 재사용이 가능하다고 밝혔다.
정태경 세메스 대표는 "고온 매엽인산 기술은 산업통상자원부 국가첨단기술과 제품으로 등록됐다"며 "다양한 반도체 공정 기술이 융복합화된 제품을 개발해 매출을 늘리고 친환경설비 경쟁력을 확보하겠다"고 밝혔다.
디일렉=이기종 기자 gjgj@bestwatersport.com
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