한화모멘텀, 반도체 OHT 사업 '도전장'

지난해 2월부터 개발 중...세매스, 에스에프에이 등과 경쟁

2024-08-20 노태민 기자

한화모멘텀이 배터리 장비 사업에 이어 반도체 웨이퍼 이송장치(OHT) 사업에 진출한다. 한화모멘텀이 OHT 사업에 진출하면서 국내 OHT 시장 경쟁은 더욱 치열해질 것으로 예상된다. 20일 한화 반기보고서에 따르면 한화모멘텀은 지난해 2월부터 OHT 개발을 진행 중인 것으로 나타났다. 물류 설비인 로드 포트 모듈(LPM)과 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM)은 지난 5월 개발을 끝냈다. 스토커(Stocker) 등은 이미 개발한 만큼, 국내외 반도체 기업에 물류 설비 공급을 추진 중일 것으로 추정된다. 한화모멘텀의 OHT와 EFEM은 클린룸 클래스 10부터 1000까지 지원한다. OHT는 운송용기(FOUP)에 담긴 웨이퍼를 각 반도체 공정 장비로 이송하는 물류 설비다. 팹 천장에 레일을 설치하고, 이 레일을 따라 FOUP이 움직이는 형태다. 스토커는 FOUP을 보관하는 일종의 창고로 OHT와 연계되는 구조로 설치된다. EFEM은 반도체 공정 장비에 부착돼 웨이퍼를 공급하는 설비다. OHT가 각 장비 간 웨이퍼 운송을 담당하는 고속도로라면, EFEM은 공정 장비에 직접 웨이퍼를 공급하는 국도 역할을 하는 셈이다. 한화모멘텀은 지난 7월 1일 한화의 모멘텀부문이 물적분활돼 설립됐다. 한화의 100% 자회사로 2차전지, 디스플레이, 물류 장비 등을 생산한다. 태양광 사업부와 반도체 전공정 사업부는 올해 상반기 각각 한화솔루션과 한화정밀기계에 양도했다. 업계에서는 한화모멘텀이 반도체 물류 사업을 추진 중인 이유에 대해 배터리 장비 사업과의 유사성을 꼽고 있다. 배터리 장비 사업과 반도체 물류 사업은 자동화 설비 기술이 필수적이다. 한화모멘텀이 그동안 축적해온 자동화 설비 기술을 반도체 물류 사업에 적용하는 것으로 추정된다. 업계에서는 한화그룹의 반도체 물류 설비 시장 진출로, 국내 OHT, 스토커 등 산업의 경쟁이 격화될 것으로 보고 있다. 국내에서 OHT, 스토커 등을 생산 중인 기업은 세메스, 에스엠코어, 에스에프에이(SFA), 한화모멘텀 등이 있다. 이중 세메스와 에스엠코어는 관계회사에 상당수 물량을 공급하고 있는 것으로 알려졌다. 에스에프에이는 최근 마이크론 인도 구자라트 팹에 OHT와 스토커 장비를 셋업 중이다. 후발주자인 한화모멘텀의 경우 시장 진입을 위해 레퍼런스 확보가 절실한 상황이다. 한화모멘텀은 물류 설비 외에도 반도체 세정 장비, 포토 공정 장비인 디벨로퍼(Developer), 스트리퍼(Stripper) 등을 개발, 제품 공급을 앞두고 있다.

디일렉=노태민 기자 tmnoh@bestwatersport.com
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