LG디스플레이·선익시스템, 10년만에 특허 공동 출원
양사, 한·미·일 3국 출원...지난 8월 공개
'기판 처짐 최소화 기판 지지장치' 기술
2025-11-13 이기종 기자
LG디스플레이와 선익시스템이 10년 만에 특허를 공동 출원(신청)했다. 해당 특허는 기판 처짐을 최소화하는 기술이다. 기술을 함께 연구한 것으로 추정되는 시점은 LG디스플레이와 선익시스템이 IT 8세대 유기발광다이오드(OLED) 증착기를 개발하던 시기와 겹친다.
13일 업계에 따르면 LG디스플레이와 선익시스템이 2023년 1월 공동 출원한 '기판 지지장치 및 이를 이용한 기판 제조방법' 특허(출원번호 10-2023-0012964)가 2024년 8월 공개됐다. 특허는 출원 후 18개월이 지나면 공개된다. 특정 기술을 함께 개발할 때 관련 기술을 특허로 공동 출원한다.
이 기술은 아직 특허로 등록되진 않았다. 특허는 기술 흐름과 경쟁사 동향을 살핀 뒤 권리범위를 조정해서 등록하면 된다.
LG디스플레이와 선익시스템은 특허명세서 첫 페이지에서 해당 기술에 대해 "기판 제조 공정에서 기판 처짐을 최소화하는 기판 지지장치 및 이를 이용한 기판 제조방법으로, (중략) 복수의 지지부는 (중략) 기판 아래에 서로 이격해서 배치하며 복수의 위치조정부에 의해 상승돼 기판을 지지할 수 있다"고 기술했다.
배경기술에 대해서는 "최근 디스플레이 장치 대형화로 기판 크기도 커지면서 자체 하중으로 기판 중심이 아래로 처져 척킹 플레이트에 기판이 고정(또는 척킹)되지 못하는 문제가 발생한다"고 밝혔고, 발명효과로는 "기판 중심 부분 지지부가 구비돼, 기판 처짐을 최소화하는 기판 지지장치와 이를 이용한 기판 제조방법을 제공할 수 있다"고 설명했다.
해당 특허를 출원한 2023년 1월 이전부터 두 업체가 함께 연구했을 것이란 점을 감안하면 두 업체의 협력은 짧게 잡아도 2022년부터 시작한 것으로 추정된다. 2021년 12월 LG디스플레이는 선익시스템의 경기 파주사업장(선유리)에서 IT 8세대 OLED 증착 평가를 시작했다. 이곳에는 선익시스템의 8세대 하프컷(Half Cut) 수평 방식 증착기와, 야스의 증착원(소스), 한송네오텍의 인장기(마스크를 팽팽하게 당겨 고정), 아바코의 물류장비, LG이노텍의 마스크 등이 공급됐다.
IT 8세대 OLED는 기판 면적이 기존 6세대 OLED보다 크기 때문에 지금은 물론 당시도 기판 중앙 처짐 문제가 주요과제였다. 삼성디스플레이가 최종적으로 수평 증착 방식을 택했지만, 수직 증착 방식을 검토했던 것도 이 때문이다.
LG디스플레이와 선익시스템은 해당 특허를 미국(US20240258143)과 일본(JP2024109112)에도 출원했다. 기술 잠재력을 높이 평가한 것으로 추정된다.
관심사는 선익시스템이 수주한 BOE의 IT 8세대 OLED 증착기에 해당 특허를 적용할지 여부다. 특허법 99조 3항은 '특허권이 공유인 경우, 각 공유자는 계약으로 특별히 약정한 경우를 제외하고는 다른 공유자 동의를 받지 않고 그 특허발명을 자신이 실시할 수 있다"고 밝히고 있다. 선익시스템이 BOE에 납품하기 위해 만드는 증착기에 해당 특허를 사용하고, LG디스플레이와 선익시스템이 '특별히 약정한 경우'라면 다를 수 있다.
해당 특허 발명자는 모두 5명이다. 4명의 주소는 LG디스플레이 파주사업장인 '경기도 파주시 월롱면 엘지로 245', 나머지 1명의 주소는 선익시스템 본점 소재지인 '경기도 수원시 권선구 산업로155번길 293'이다. 발명자 숫자로만 보면 LG디스플레이 기여도가 크지만, 기술 핵심을 누가 제공했는지는 이들 발명자끼리만 알 수 있다.
현재 선익시스템은 BOE의 IT 8세대 OLED 증착기를 제작 중이고, 아바코는 여기에 필요한 진공증착 물류장비를 만들고 있다. 광림정공 등은 선익시스템 증착기에 필요한 진공 챔버 제작을 맡았다.
앞서, 10년 전인 2013년에도 LG디스플레이와 선익시스템은 '기판 냉각장치 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치'(등록번호 2033735) 등 특허 5건을 국내에 출원·등록했지만 해외에는 출원하지 않았다. LG디스플레이와 선익시스템의 특허 공동 출원은 2013년 이후 이번이 처음이다.
디일렉=이기종 기자 gjgj@bestwatersport.com
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