반도체 장비기업 세메스가 29일 OHT(Overhead Hoist Transport) 양산 1만 호기 출하 기념 행사를 진행했다.
OHT는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 자동으로 이송하는 장비다. 팹(반도체 제조 공장) 천장에 설치된 고정 레일을 따라 풉(FOUP)을 각 공정 장비로 운반한다. 풉(FOUP)은 웨이퍼가 닯긴 용기다.
과거에는 작업자가 직접 웨이퍼를 운반했으나, OHT가 도입되며 물류 자동화가 실현됐다. 센서와 무선 통신 모듈을 통해 중앙 컨트롤러와 정보를 주고받으며 최적의 경로를 찾는다. 생산 효율성과 청정도 모두 향상됐다.
그간 일본에서 전량 수입하던 것을 세메스가 2011년 국산화했다. 내년에는 차기 장비도 선보인다. 회사는 “초당 직선으로 5m, 곡선에서 1m를 조용하게 먼지없이 움직일 수 있다. 기존 대비 웨이퍼 적재시간∙진동을 줄이고, 이송 하중은 늘려 반송 효율을 30% 이상 크게 향상시켰다”며 “첨단 소프트웨어 기술을 적용해 라인 내 생산 물류 흐름을 최적화시켰다”고 설명했다.
세메스는 OHT가 반도체 팹 이외의 일반 산업 현장에서도 물류이동 효율을 위해 쓰일 것으로 기대했다. 이외에도 ▲고층 타워 리프트 ▲모바일 로봇 ▲후공정 반송물(SSD Tray, Cassette, Tray) 자동화 스토커 시스템 등 물류자동화 설비 제품군을 다각화하는 중이다.