에스앤에스텍이 극자외선(EUV; Extreme Ultraviolet Lithography)용 블랭크마스크∙펠리클 양산을 위해 약 417억원을 들여 용인에 새 공장을 짓는다. 자기자본의 18.9%에 해당하는 규모다.
회사는 “용인 반도체 벨트에 위치한 고객사의 요구에 신속히 대응하기 위함”이라며 “EUV용 블랭크마스크 검사 장비 투자에 집중될 것”이라고 설명했다.
공장은 경기도 용인시 처인구 이동읍 덕성리 1261번지에 짓는다. 완공 시점은 2025년 12월 31일까지다.
회사는 먼저 연내 대구 본사 공장에 클린룸을 증설해 EUV 블랭크마스크 양산 준비와 함께 EUV 펠리클 초도양산에 나설 계획이다. 초도양산은 제품을 본격 납품에 하기에 앞서, 샘플을 소량 공급해 검증하는 과정이다. 에스앤에스텍은 “2025년 말로 예정된 준공 시점 전까지의 수요는 대구 공장에서 대응이 가능하다”고 설명했다.
블랭크마스크는 패턴이 새겨지기 전 상태의 마스크를 말한다. 펠리클은 초박막 보호막이다. 포토마스크를 보호하고 결함을 최소화하는 등 수율을 높이는 데 중요한 첨단 소재다. 하지만 기술적 한계, 비용 등 여러 어려움이 뒤따라 상용화에 이르지는 못하고 있다.