일본 재팬디스플레이(JDI)의 차세대 유기발광다이오드(OLED) 증착 기술 상용화에 국내 후방 업계가 힘을 보탰다.
JDI는 최근 2019년 2분기(회계기준, 2019년 7월-9월) 실적발표에서 첫 OLED의 양산을 공식화하며 "세계 최초로 수직 증착방식으로 이달 양산을 시작할 계획"이라고 밝혔다. 국내 케이피에스 마스크 인장기와 핌스 오픈마스크(OMM)가 사용된 것으로 15일 파악됐다. 6세대(1500mm x 1850mm) 하프컷 증착 방식으로 전해졌다.
JDI는 "수직방식 증착장비는 기존 수평방식 증착장비보다 장비가 차지하는 면적이 30% 줄어든다"고 했다. 다른 장점은 밝히지 않았다. JDI의 일본 지바현 모바라시 공장 OLED 생산라인의 월 생산능력은 6세대 기판 2000장이 채 되지 않는 것으로 전해졌다. 애플워치용 폴리실리콘옥사이드(LTPO) 유기발광디스플레이(OLED) 패널을 생산할 예정이다. JDI는 LTPO 기술을 어드밴스드LTPS(Advanced-LTPS)라고 부르고 있다.
오랫동안 증착장비 연구를 해온 국내 업계 관계자는 "수직증착 방식은 대량 양산이 안되는 기술로 판명된지 오래"라며 "미국 장비업체 어플라이드머티리얼즈가 2년전 거의 거저로 JDI에 수직증착 장비를 넘겼다"고 말했다.
어플라이드머티리얼즈의 수직방식 증착장비의 마스크 인장장비는 국내 케이피에스가 공급했다. 마스크 인장장비 분야는 케이피에스를 비롯해 힘스와 한송네오텍 등 국내 업체가 과점한 시장이다. 삼성디스플레이에만 마스크 인장장비를 납품하던 힘스는 지난해말부터 중국 시장에 본격 진출했다. 올해 3분기 누적 매출액은 지난해의 2배에 가까운 657억원을 기록했다. 같은기간 한송네오텍과 케이피에스의 매출액은 각각 158억원, 127억원이다.
오픈마스크 시장 역시 국내 3개 업체가 과점하고 있다. 삼성디스플레이 공급업체인 세우인코퍼레이션의 매출액이 가장 크다. 세우인코퍼레이션은 지난해 791억원 매출을 기록했다. LG디스플레이에 오픈마스크를 공급하는 풍원정밀의 같은기간 매출액은 419억원이다. 핌스 관계자는 "지난해 120억원 가량 매출을 기록했다"며 "올해는 360억원의 매출액을 올릴 것으로 전망한다"고 말했다. 또 "파인마스크(FMM) 공정용 보조 마스크에 대한 특허를 바탕으로 빠르게 성장하고 있다"고도 했다.
일본은 디스플레이 산업이 처음 부흥한 곳인 만큼 전통 디스플레이 장비와 소재 대부분에 여전히 독점적 지위를 차지하고 있다. 디스플레이용 노광장비만해도 캐논과 니콘이 양분하고 있는 상황이다. 중소형 OLED 증착장비에서는 일본 캐논토키와 다른 경쟁업체의 격차가 상당하다. 레드(R)·그린(G)·블루(B) 픽셀 증착용 파인마스크는 다이닛폰프린팅(DNP) 제품이 대부분이며, 파인·오픈마스크를 만드는 금속(Metal)인 인바(Invar)는 히타치메탈이 전량 공급한다.
JDI는 습식식각(wet etch) 방식인 DNP의 파인마스크가 아닌 일본 멕셀의 전기도금(electroforming) 파인마스크를 양산에 적용했다.