SKC가 일본 의존도 90% 이상인 하이엔드 반도체용 블랭크 마스크를 연내 양산한다.
20일 산업통상자원부는 SKC가 불화아르곤(ArF)용 등 하이엔드급 블랭크 마스크 시제품을 국내 기업과 테스트 중이고 하반기 본격 양산한다고 밝혔다. 블랭크 마스크란 회로 패턴을 그리기 전 포토마스크 원판을 말한다. 석영유리에 금속막·감광막 등을 도포해 제조한다. 블랭크 마스크는 반응하는 빛 파장에 따라 불화크립톤(KrF, 248nm), 불화아르곤(ArF, 193nm), 극자외선(EUV, 13.5nm)용으로 구분한다. ArF와 EUV가 하이엔드급이다.
반도체 공정 핵심 소재인 블랭크 마스크가 양산되면 국내 공급 안정성이 개선될 전망이다. 블랭크 마스크는 대 일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비(소부장) 품목이다.
정승일 산업통상자원부 차관은 20일 천안 SKC 블랭크 마스크 공장을 방문해 소부장 정책성과 확대를 강조했다. 정부는 대 일본 수입 상위 20대 품목에 대해 내년 공급 안정성 확보를 목표로 국내 생산 확대 및 기술 개발, 수입국 다변화 등을 추진하고 있다. 기술 개발에는 지난해 추경 650억원에 이어 올해 1165억원을 투입한다.
일본의 수출규제 3개 품목은 공장 신증설, 외투기업 투자 등으로 연내 완전한 공급안정화를 달성할 계획이다. 나머지 80대 품목은 올해 1조2000억원 연구개발 지원을 추진한다. 공급선 다변화 등으로 기본 공급안정성을 확보할 계획이다.
정 차관은 "소부장 기술력 강화, 산업 생태계 구축 등을 위해 정부, 수요·공급 기업 간 긴밀한 협력이 중요하다"며 "조기 성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목 상용화에 올해 2100억원 이상을 지원하겠다"고 밝혔다.
이용선 SKC 부사장은 "신규 공장 완공에 필요한 환경 등 인허가 처리, 수입장비 할당관세 적용과 연구개발에 대한 정부 지원에 감사한다"며 "국내 기업이 소부장 정책 추진동력을 유지하도록 정부 관심과 지원을 요청한다"고 밝혔다.
SKC는 지난 2018년부터 총 430억원을 투자해 지난해 말 블랭크 마스크 신규 공장을 완공했다. 내년에는 이번보다 첨단 제품을 양산하는 것이 목표다. SKC는 일본의 3대 수출규제 품목인 불화 폴리이미드에 850억원을 투자해 지난해 말 완공한 신규 공장에서 시제품을 생산 중이다. 지난 1월에는 글로벌 동박 제조업체 KCFT를 1조2000억원에 인수했다.