ACM리서치, 전력 반도체 지원 '박형 웨이퍼 클리닝 시스템' 출시
초박형 웨이퍼에 특화된 습식 공정 제공
ACM리서치는 박형 웨이퍼 클리닝 시스템을 24일 발표했다. 금속산화물 반도체 전계 트랜지스터(MOSFET)와 절연게이트 양극성 트랜지스터(IGBT) 제조를 지원하는 반도체 장비다.
웨이퍼 클리닝의 반송 시스템은 딥 트렌치, 타이코(Taiko), 초박형 또는 본딩된 웨이퍼를 지원한다. 웨이퍼를 운송하는 로봇의 암(Arm)과 웨이퍼의 척은 비접촉 웨이퍼 공정을 수행하도록 설계됐다.
질소가스(N2)로 일정한 압력을 공급해 웨이퍼가 로봇의 암에서 고정된 상태로 양쪽에서 공정과정을 수행하도록 해준다. 웨이퍼의 휨 현상을 완화하기 위한 설계 구조다.
습식 공정 동안 웨이퍼는 베르누이 척 위에 앞면이 아래로 놓인 상태로 있게 된다. 이때 질소가스 (N2)를 흘려 웨이퍼를 감싸면서 충격을 완화하고 건조상태를 유지시켜준다. 두께 측정 기능(옵션)을 포함하도록 구성할 수 있다.
각 챔버는 최대 4 개의 스윙 암으로 구성할 수 있다. 습식 식각액, 솔벤트, RCA 세정 화학 물질, DI 워터, 질소와 같은 공정 화학 물질을 전달해 준다. 두 가지 유형의 화학 물질을 재사용할 수 있다.
200mm, 300mm 실리콘 웨이퍼, 두께가 50마이크론 미만인 타이코 웨이퍼, 두께가 200마이크론 미만인 초박형 웨이퍼, 고종횡비(> 10:1) 딥 트렌치 웨이퍼, 더블 틱니스 본디드 웨이퍼(Double thickness bonded wafer)공정을 지원한다.
시장조사업체 욜디벨롭먼트에 따르면 초박형 웨이퍼 시장은 2019년 1억 장에서 연평균 5% 성장해 2025년 1억3500만장으로 증가한다고 전망했다. 메모리, CMOS 이미지 센서, 전력 실리콘 카바이드 부품, LED, 레이저 다이오드에 의한 성장이 예상된다.