세메스-대한기계학회, 오픈 이노베이션 챌린지 시상

웨이퍼 공정 이물질 계측기술 개발한 홍익대팀 대상

2021-12-21     김동원 기자
세메스는 21일 'KSME(대한기계학회)-SEMS 오픈 이노베이션 챌린지'를 개최했다고 밝혔다. 이 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술 및 초정밀 센서 계측기술 등 산업현장에서 활용되는 기계공학 분야 논문 공모전이다. 코로나 여파로 온라인으로 진행됐다. 이번 공모전은 37개 연구기관으로부터 총 97편의 제안서가 접수됐다. 세메스와 대한기계학회는 우수 제안서 27편을 1차 선발한 뒤 최종 심사를 통해 대상 1팀(상금 1000만 원), 금상 2팀(각 500만 원), 은상 2팀(각 300만 원), 동상 6팀(각 100만원)을 선정했다. 대상은 반도체 웨이퍼 플라즈마 클리닝 공정에서 발생하는 이물질 계측장비 기술을 개발한 홍익대팀이 수상했다. 금상은 바이오 연료전지를 개발한 고려대팀과 다점법 나노 패턴웨이퍼의 스핀세정공정 전산모사를 개발한 한양대팀이 차지했다. 강창진 세메스 대표는 "산학연 기술연계를 통해 개발된 첨단 미래기술이 반도체·디스플레이 장비산업에 접목될 경우 시너지 효과가 매우 클 것"이라고 말했다.