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[영상] AMAT, 삼성D에 '비-FMM 증착기' 공급한다
[영상] AMAT, 삼성D에 '비-FMM 증착기' 공급한다
  • 이기종 기자
  • 승인 2024.12.06 13:32
  • 댓글 0
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삼성디스플레이, 양산 적용 가능성부터 검토
미국 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)가 삼성디스플레이에 비(non)-파인메탈마스크(FMM) 방식 수직 증착기를 공급한다. AMAT에선 자사 기술이 8세대 유기발광다이오드(OLED)까지 대응할 수 있다고 주장했지만, 삼성디스플레이는 양산 적용 가능성부터 검토할 것으로 예상된다. AMAT는 지난 21일 "삼성디스플레이에 '맥스(MAX) OLED 솔루션'을 공급한다"고 밝혔다. AMAT의 맥스 OLED 솔루션은 업계에서 이른바 'e립'(JDI의 기술명)으로 부르는 기술이다. JDI의 e립, 비전옥스의 ViP 등은 FMM을 사용하지 않고 노광 공정으로 RGB OLED 발광층과 공통층을 형성(패터닝)하는 기술이다. 노광 공정을 이용하기 때문에 기존 FMM 방식보다 고해상도 디스플레이 구현이 가능하고, 개구율도 높일 수 있다. R과 G, B 각각의 재료세트 구성도 다를 수 있다. JDI의 e립, 비전옥스의 ViP 등 파일럿 라인에서 사용 중인 증착기 모두 AMAT 제품이다. AMAT로선 관련 수직 증착기를 이미 납품한 이력이 있지만, 고객사가 삼성디스플레이여서 이번에 부각한 것으로 추정된다. AMAT의 해당 장비는 삼성디스플레이 A2 5.5세대 라인에 반입된다. AMAT가 삼성디스플레이에 공급하는 장비는 연구개발(R&D)용 1대로 알려졌다. JDI의 e립과 비전옥스 ViP 모두 아직 양산성이 검증되지 않았다. 업계 일각에선 삼성디스플레이가 새로운 OLED 시장을 겨냥해 비-FMM 방식 적용 가능성을 검토할 것이란 관측이 나온다. 20~30인치대 중형 OLED 또는 좌우로 길쭉한 차량 OLED 등이 후보군이다. 이들 제품은 삼성디스플레이가 이미 가동 중인 5.5세대와 6세대 FMM 방식 OLED, 그리고 현재 구축 중인 8.6세대 FMM 방식 IT OLED 라인에서 대응이 쉽지 않을 것으로 예상되는 분야다. 비-FMM 방식 OLED는 양산성이 검증되더라도 노광 공정 확대 적용으로 제조원가가 오를 수 있기 때문에, 다품종 소량생산에 적합한 틈새시장을 겨냥할 수 있다. 동시에, 비-FMM 방식 OLED 양산성이 검증되면 현재 FMM 방식이 장악한 중소형 OLED 시장에 변화를 줄 수도 있다.

- 오늘 주제 얘기 전에, 오늘 삼성디스플레이 인사 어떻게 봤습니까?

“이청 중소형사업부장 부사장이 사장으로 승진할 것이란 전망이 많이 나왔는데, 예상대로 됐습니다. 중소형사업부가 삼성디스플레이 매출 영업이익에서 차지하는 비중도 크기 때문에.”

- 대부분이죠.

“예, 절대적입니다. 그래서 이청 부사장이 2022년부터 사업부장을 맡았기 때문에 작년부터 이미 차기 사장이 될 것이란 전망이 나왔습니다. 그러다가 얼마 전에는 최주선 사장이 연임할 수도 있단 얘기 나왔는데.”

- (최주선 사장이) 갈 자리가 없어서 뭐 약간.

“삼성전자 반도체 사업부 등 여러 문제 때문에 (최주선 사장이 연임할 것이란 관측이 나왔는데) 최근 다시 이청 중소형사업부장이 사장으로 승진할 것이란 전망 많이 나왔습니다.”

- 전망대로 된 거라고 봐야겠네요. 그런데 최주선 사장이 삼성전자로 돌아가지 않고 삼성SDI로 간 것은, 다들 그렇게 예상하진 않았던 것 같은데.

“네, 최근에서야 그런(삼성SDI행) 얘기가 돌았고, 얼마 전까지만 하더라도 삼성SDI행은 관측이 많이 안 나오긴 했습니다.”

- 오늘 주제는, 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)가 삼성디스플레이에 장비를 공급한다고 최근 발표한 것과 관련된 내용입니다.

“21일 AMAT이 삼성디스플레이에 맥스 OLED 솔루션을 공급한다는 내용의 보도자료를 배포했습니다. 실적발표 컨콜에서는 IT OLED에서 기회가 있을 것이다, 짧게 얘기했습니다.”

- 맥스 OLED 솔루션이 뭡니까?

“JDI의 ‘e립’으로 통칭되는 기술에 필요한 증착기입니다. 기존 중소형 OLED는 FMM을 사용해서 RGB OLED 서브픽셀을 패터닝합니다. 반면, JDI의 e립, 비전옥스의 ViP, 그리고 AMAT의 맥스 OLED 솔루션 등은 반도체 노광 공정으로 RGB OLED 패터닝을 하는 겁니다. 기존 FMM 방식보다 개구율을 높일 수 있고 고해상도 디스플레이와 밝기, 수명 등에서 장점이 있다고 홍보하는 기술입니다.”

- 기존에는 구멍이 미세하게 많이 뚫린 FMM을 올리고 분말 형태 OLED 재료를 기화하면 구멍을 통과해서 픽셀 자리에 달라붙는 형태였다면, 이것(맥스 OLED 솔루션)은 노광을 사용하는 것이다. 방식이 완전 바뀐 거네요.

“방식이 다릅니다. 기존에는 OMM으로 공통층 만들고 나서, FMM으로 R, G, B를 차례로 만들었습니다. 이른바 ‘e립’ 방식에서는 OMM이나 OMM 없이 R을 증착한 다음, 봉지 이후 노광, 또는 노광 이후 봉지 공정을 통해서 RGB OLED를 패터닝합니다. 봉지와 노광 순서는 특수물질 사용 여부에 따라 다를 수 있다고 합니다. 노광 공정을 이용하기 때문에 기존 FMM 공정에서 있었던 섀도(shadow) 효과를 줄일 수 있습니다. 그런데 e립 방식에서도 R을 쌓고, 그 옆에 G, B를 올려야 하는데, 이때도 섀도 효과가 발생할 수 있고, 이쪽 문제가 생각보다 해소가 쉽게 되진 않고 있다고 합니다.”

- AMAT이 자료를 낸 이유가 있네요. 기존 증착기 가격도 비싸고요. 증착기는 일본 캐논토키, FMM은 일본 DNP가 사실상 독점하고 있으니까, 이게 전면 도입될지는 잘 모르겠지만, 기술 방식이 바뀐다는 거 아닙니까?

“삼성디스플레이나 LG디스플레이가 지금 중소형 FMM OLED에서 우위를 보이는 것는데, 만약 FMM을 사용하지 않은 e립 방식이 상용화되면 기술 주도권이 많이 바뀔 수 있습니다.”

- AMAT 장비는 삼성디스플레이 어떤 라인에 몇 대 들어갑니까?

“A2 라인에 R&D용으로 1대 들어갑니다.”

- 평가해보고 결정하자, 이런 거군요.

“AMAT 자료에도 삼성디스플레이가 AMAT 장비를 가져가서 평가할 것이라고 나와 있습니다. 추가로 알아보니까, 삼성디스플레이가 AMAT 장비를 사가는 것이 아니라, 일단 장비를 넣고, 평가한 뒤 최종 결정할 것 같습니다. 예전에도 다른 업체들이 신기술 개발하면 우리 기술을 한번 평가해달라고 요청하면서 장비 먼저 넣었던 경우가 있습니다. 잘 안 되면 십백(ship back)하는 경우도 있고.”

- 제대로 됐을 때, 대부분 퀄 받을 때 그렇게 많이 하죠. 새로운 기술일 경우에는 그럴 수 있습니다. 이러한 비(non)-FMM 방식 기술 특허는 누가 갖고 있습니까?

“비-FMM 방식 기술 자체는 업계에서는 한 5년 전부터 회자됐습니다. 2022년 JD에서 e립을 양산해보겠다고 하면서 회자가 더 많이 됐습니다. e립이라고 통칭하는 기술에 대해선 JDI, 비전옥스, AMAT, 삼성디스플레이, 일본 SEL 등이 가지고 있습니다. 나중에 제품이 나와야 어떤 특허가 사용됐다고 얘기할 수 있는 것이고, 현재로선 4~5개 업체가 각자 기술을 보유하고 있습니다.”

- AMAT 장비는 그 전에 다른 곳에 들어간 적이 있습니까?

“JDI의 e립, 비전옥스의 ViP 파일럿 라인에 이미 AMAT 장비가 반입됐습니다. AMAT 입장에선 처음은 아닌데, 삼성디스플레이란 세계 최대 패널 업체에 납품을 하니 이번에 발표한 것 같습니다.”

- 삼성디스플레이는 이 기술에 관심이 당연히 있었겠고, 그런데 이번에 넣어보고 한 번 해보자라고 판단한 배경은 무엇인가요?

“삼성디스플레이가 주도권을 보유한 중소형 OLED는 기술 방식이 FMM 방식인데, FMM OLED는 당장 화면 크기로 볼 때, IT 8세대 OLED 라인에서도 15인치, 17인치를 우선 생산할 것으로 예상되고 있습니다. 대형 쪽 QD-OLED와 LG디스플레이의 W-OLED는 현재 27인치까지 내려왔습니다. 그래서 20~30인치 시장에선 아직 OLED 주도권이 형성되지 않았습니다. 이 부분에 대해서 테스트를 해볼 생각인 것 같습니다. 길쭉한 차량 디스플레이나 비정형 디스플레이 등 다품종 소량생산에 적합한 디스플레이를 만들 수 있습니다. 현재 삼성디스플레이 5.5세대 A2 라인은 4분할 증착으로 만드는데, 차량 디스플레이 기준으로 30인치 내외가 최대인 것 같고, 기판 면적이 커지면 50인치까지도 만들 수 있습니다. 새로운 가능성을 테스트해보기 위해서 삼성디스플레이가 AMAT 장비를 반입하는 것 같습니다.”

- e립 기술이, OLED 시장 기술에 전반적 상향평준화를 야기할 가능성이 있지 않습니까? 지금 삼성디스플레이가 어쨌든 잘 하고 있습니다. 애플에서도 퀄을 가장 먼저 받았고 물량도 많은데, 후발주자들은 수율 문제도 있습니다. e립 기술이 고도화돼서 AMAT이 장비를 많이 팔면, 후발주자들이 쉽게 쫓아올 수 있는 계기를 마련해 줄 수 있지 않을까요?

“직접적 효과는 지금 정확히 모르겠고, FMM 방식에 미치는 영향이 있을 수 있습니다. e립 방식의 새로운 시장이 열리면, 캐논토키가 장악한 FMM 방식 증착기 가격이 떨어질 수 있습니다. 지금 중국 패널 업체들이 6세대 FMM OLED 라인에서 수익은 못 남기지만 어쨌든 라인을 돌리고 있기는 합니다. FMM 방식 증착기 가격이 떨어지면 OLED 보급률이 점차 커지면 계기는 될 수 있습니다.”

- 전반적으로 늘어날 수는 있는데 한국 기업들이 조금 앞서가고 있는 부분에 대해서 (중국 패널 업체가) 캐치할 수 있는 계기를 마련해 주지 않을까 하는 생각도 얼핏 들기도 합니다.

“방향성은 여러 가지 있을 것 같습니다. 그런데 이 기술 주도권을 누가 가져가느냐가 중요할 텐데, 삼성디스플레이는 지난 4월 미국 오사거널(Orthogonal)로부터 비-FMM 방식 RGB OLED 관련 미국 특허 5건을 인수했습니다. 해당 특허가 e립에만 쓰이는 기술은 아니겠지만, 향후 이 시장이 개화할 가능성에 대비해서 삼성디스플레가 관련 특허를 매입한 것 같습니다.”



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