삼성전자 자회사이자 국내 최대 반도체 장비기업인 세메스가 그간 전량 수입에 의존해 온 포토 공정용 트랙 장비를 국산화했다. 삼성전자가 해당 장비를 구매하는 데 연간 수천억원을 투입하는 것으로 알려져 국산화 대체 효과가 상당히 클 것으로 예상된다. 24일 세메스는 반도체 불화아르곤이머전(ArF-i) 포토 공정용 트랙 장비인 '오메가 프라임'을 국내 최초로 개발해 지난해 양산 1호기를 출하한 데 이어 올해 2호기 제작에 나섰다고 밝혔다.  트랙은 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액(PR:PhotoResist)을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 장비다. 세메스는 그동안 불화크립톤(KrF) 노광기용 트랙 장비를 생산해 왔으며, 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 ArF-i 장비도 개발했다고 설명했다.  ArF-i 트랙 장비는 현재 일본 최대 반도체 장비 업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 시장점유율 90% 이상을 차지하며 사실상 독점하고 있다. ArF-i 트랙 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 설비다. 세메스는 코팅, 현상 프로세스 유닛의 조정 편차를 없애기 위해 로봇 위치조정, 베이크 온도세팅, 노즐조정 등의 자동화 시스템을 개발 적용했다. 이외 비전 감시기능 시스템, 베이크 자동보정 등의 특화 기술도 탑재했다고 설명했다. 최길현 세메스 최고기술책임자(CTO)는 "반도체 핵심공정 장비인 오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 예상한다"며 "앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화된 장비를 선보여 기술혁신 기업으로 거듭나겠다"고 밝혔다.