전 세계 유일의 EUV 노광장비 제조업체인 네덜란드 ASML의 피터 베닝크 회장은 18일 "한국 반도체 생태계를 강화하는데 기여하겠다"고 밝혔다. ASML은 이날 2400억원 규모의 화성 반도체 클러스터 투자 협약을 공식 체결했다. 18일 산업통상자원부(이하 산업부)에 따르면 이날 문승욱 산업부 장관은 경기 화성의 ASML코리아 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO와 면담을 갖고, 국내 투자와 관련한 논의를 가졌다. ASML은 반도체 미세공정에 활용되는 극자외선(EUV) 노광장비를 제조하는 업체다. 현재 EUV 노광장비를 생산할 수 있는 업체는 전 세계에서 ASML이 유일하다.

이날 면담에서 문 장관과 베닝크 CEO는 최근 반도체 업황 및 기술동향, 글로벌 반도체 공급망 이슈, ASML 신규 투자 관련 국내기업과 협력 강화 방안 등에 대해 논의했다. 또한 문 장관은 ASML이 화성 반도체 클러스터에 2400억원 규모의 투자를 결정한 데 대해 감사의 뜻을 전했다. ASML은 지난 5월 화성 동탄시 내 약 1만6000㎡ 부지에 사무실과 DUV·EUV 트레이닝센터, 재제조 센터 등을 구축하겠다고 밝힌 바 있다. 문 장관은 "이번 투자를 통한 ASML측과의 협력 강화로 첨단 반도체를 제조하는 우리 기업들의 경쟁력 강화가 기대된다"며 "향후 ASML과 국내 소재·부품·장비 기업들과의 협업 확대를 통해 EUV 노광장비 등 첨단 장비 관련 소재·부품의 공급 안정성 강화에 힘써 줄 것을 당부한다"고 말했다. 베닝크 CEO는 EUV 노광장비의 신속한 국내 공급을 위해 지난해 건의했던 '고압가스안전관리법'상 중간검사 방식이 개선된 부분에 감사의 뜻을 전했다. 그는 "한국은 ASML에 매우 중요한 시장이며 이를 위해 트레이닝 센터와 재제조 센터, 지역 기여가 강화된 클러스터 투자를 결정하게 됐다"며 "한국 정부의 적극적 협조에 감사드리며 앞으로도 관계를 지속해 한국 반도체 산업 발전에 기여할 수 있길 바란다"고 밝혔다. 이날 ASML과의 투자협약식에는 문승욱 장관, 서철모 화성시장, 오병권 경기도 도지사 권한대행(제1행정부지사), 이원욱 국회의원, 이은주 경기도의원, 황광용 화성시의원, 이창한 반도체협회 부회장 등이 참석했다.  ASML은 동탄2신도시 내 1만6000㎡ 부지에 ASML코리아 본사 오피스와, DUV·EUV 트레이닝센터, 재제조센터 등을 짓는다.  이를 위해 2025년까지 총 2400억원을 투자할 계획이다.