반도체 생산용 이온주입(Ion implant) 장비 전문 업체 미국 엑셀리스가 경기도 평택에 첫 생산공장을 구축하고 본격 가동에 들어간다. 엑셀리스는 미국 어플라이드머티어리얼즈와 함께 세계 반도체 이온주입 장비 시장을 양분하고 있는 기업이다.  미국 매사추세츠에 본사가 있는 엑셀리스가 타국에 장비 생산 공장을 짓는 것은 이번 경기도 평택 공장이 첫 사례다. 삼성전자와 SK하이닉스, 온세미컨덕터 등 국내 대형 고객사 요구에 빠르게 대응하는 한편 중국과 대만, 일본 등 아시아 지역 수요까지 책임지는 전진기지 역할도 할 것이라고 회사는 설명했다. 박영근 엑셀리스코리아 사장은 22일 "하반기에 상당한 양의 이온주입 장비가 평택 공장에서 생산되고 출하될 것"이라면서 "이 중 40%는 국내 고객사 물량, 나머지 60%는 수출 물량으로 잡혀 있다"고 밝혔다. 엑셀리스코리아는 지난 달 국내 주요 대형 고객사 관계자를 차례로 초청해 공장 오픈식을 개최하고 이 같은 방침을 설명했다. 회사는 공장 가동에 필요한 인력 40여명도 추가 고용했다. 이에 따라 엑셀리스코리아 임직원 숫자도 기존 80명에서 120명으로 늘어났다.  박 사장은 "이온주입 장비를 생산할 때 필요한 펌프 등 각종 파츠, 부품류에 대한 국내 협력사 제품 조달 비중을 현재 5% 수준에서 장기적으로는 50%까지 끌어올릴 것"이라면서 "이른바 '메이드 인 코리아' 제품을 국내외에 판매하게 되는 것"이라고 설명했다. 엑셀리스코리아는 이를 위해 국내 부품 구매 인력도 대폭 확대했다. 엑셀리스코리아 구매팀이 이온주입 장비 조립에 필요한 국내 협력사 부품과 파츠류를 본사에 제안하면, 본사 기술팀 검증을 거쳐 장비에 적용하게 되는 그림이다. 엑셀리스코리아 평택 공장은 1200여평 규모다. 이 곳 장비 생산 용량은 현재 본사 생산 용량의 20% 수준이다. 향후 국내 투자를 늘려 생산량을 점진적으로 끌어올리겠다고 박 사장은 설명했다.  엑셀리스코리아가 금융감독원에 제출한 감사보고서에 따르면 지난해 이 회사 매출은 676억원, 영업이익은 36억원이었다. 매출은 대부분 장비 설치, A/S, 기술지원 등에서 나온 것으로 추정된다. 하반기 장비 생산분이 실적으로 잡히면 올해 엑셀리스코리아 매출은 2000억원 수준까지 높아질 수 있을 것으로 보인다. 이온주입 장비는 소스 가스를 이용해 만든 이온을 실리콘 웨이퍼에 물리적으로 주입하는 공정을 의미한다. 이온 주입 전 실리콘 웨이퍼는 전기가 통하지 않는 부도체지만, 이온주입 공정을 마치면 전기가 통하는 전도성을 띠게돼 비로소 반도체 성질을 갖게 된다. 엑셀리스는 나스닥 상장 기업이다. 지난해 매출은 6억6240만달러, 순이익은 9870만달러였다. 전년 대비 각각 40%, 97% 성장한 수치였다.