EUV(극자외선) 대중화 시대가 성큼 다가왔습니다. 2017년 파운드리 공정에 EUV 장비가 적용된 지 5년만에 EUV는 글로벌 반도체 패권을 상징하는 대명사처럼 여겨지고 있습니다. 삼성전자와 SK하이닉스, 인텔, TSMC, 마이크론 등 주요 반도체 기업들이 EUV 장비 도입에 적극 나서는 추세입니다. 새로운 기술은 새로운 생태계를 창조합니다. 2024년 ‘하이-NA EUV’ 도입은 본격적인 EUV 생태계를 여는 기폭제가 될 것으로 관측됩니다. 반도체 부품소재 산업 생태계는 어떻게 바뀔까요? 또 바뀌는 생태계에 맞춰 기업들은 어떤 준비를 해야 할까요? 전자부품 전문 미디어 디일렉은 2019년, 2021년에 이어 올해 세번째 EUV 테크 콘퍼런스를 오는 12월8일 개최합니다. 하이-NA 기술 등 EUV 생태계를 조망했던 2021년 콘퍼런스에 이어 올해는 더욱 진화하는 EUV 공정 및 부품·소재 기술 동향을 집중 조명할 계획입니다.  올해 콘퍼런스 주제발표는 안진호 한양대학교 신소재공학부 교수가 맡습니다. EUV관련 국내 최고 권위자입니다. 안 교수는  ‘High-NA 시대를 대비한 EUV 소재기술 개발 전략’을 주제로 발표합니다. SK하이닉스는 'D램 양산을 위한 EUV 리소그래피(Lithography) 도전과제'를 소개할 예정입니다. 삼성전자는 EUV 등 차세대 극미세화 시대에서 적용될 파운드리 공정 최신기술을 주제로 발표합니다. 

올해는 EUV 관련 글로벌 기업들도 대거 참여합니다. ASML은 'EUV 대량생산(HVM)과 기술 확장'을 주제로 발표하고, 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 'EUV Materials Engineering with Advanced Technology'을 소개합니다. 또한 도쿄일렉트론(TEL)은 'EUV Patterning Process Development'에 대해, 칼자이즈는 EUV와 하이-NA에 대해,. 부쉬코리아는 EUV Pre-vacuum system에 대해 각각  발표를 진행합니다. 

국내 주요 EUV 부품·소재 기업들의 최신 기술개발 동향도 살펴볼 수 있습니다. 에스앤에스텍은 ‘EUV 블랭크마스크 및 펠리클 관련 개선 성과’에 대해 발표합니다. 파크시스템스는 ’EUV 마스크 리페어 장비’에 대해, 이솔은 ’EUV 소스(광원)에 따라 필요한 장비’를 중심으로 강연할 계획입니다. 동진쎄메켐은 'CAR Type EUV Resist 개발 현황과 과제'를 주제로 발표합니다.  2024년 반도체 패권전쟁의 핵심 키워드, EUV의 모든 것을 이번 콘퍼런스에서 파악해볼 수 있습니다. 디일렉의 '2022년 EUV 생태계 글로벌 콘퍼런스'에 많은 관심 부탁드립니다.  

《반도체·디스플레이·배터리·전자부품 분야 전문미디어 디일렉》

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◈ 행사 개요

- 행사명 : 2022 반도체 EUV 생태계 글로벌 컨퍼런스
- 주최 : 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합
- 주관 : 디일렉, 와이일렉

- 일시 : 2022년 12월 8일(목) 10:00~17:30
- 장소 : 서울 역삼동 포스코타워 3층 이벤트홀
- 등록 비용 : 38만5,000원(부가세 포함)
- 참가 문의 : 디일렉 사업국 (02)2658-4707 

 

◈ 세부 일정