AFM(원자현미경) 전문 기업 파크시스템스이 EUV(극자외선) 마스크 리페어 장비 공급을 본격화하고 있다. 작년 말 2대를 주요 반도체 기업에 공급한데 이어 지난 1분기에도 2대를 추가로 공급했다. 신규 고객사는 국내 주요 반도체 제조기업과 중국 마스크 기업이다.  16일 반도체 업계에 따르면 파크시스템스는 올 1분기 국내 반도체 제조기업과 중국 마스크 기업에 EUV 마스크 리페어 장비 ‘Park NX-Mask’를 공급한 것으로 확인됐다. 앞서 이 회사는 2021년 12월과 지난해 말에도 국내외 반도체 기업 2곳에 장비 2대를 공급한 바 있다.  ‘Park NX-Mask’는 EUV 마스크 위의 파티클과 범프 등을 제거하는 장비다. 대만 파운드리 T사의 요청으로 파크시스템스가 자체 개발한 장비다. 장비 개발은 지난 2021년 말에 끝냈으며, 공식 출시는 지난해 12월에 했다. 이 장비를 사용하면 반도체 제조사들은 EUV 마스크의 결함을 제거할 수 있어 고가의 EUV 마스크 사용수명을 늘릴 수 있다. EUV 마스크 수명을 개선할 수 있다 보니 국내·외 반도체 제조사들의 관심도 높은 상황이다. 지난해 12월 출시 이후 지금까지 누적 수주량은 10대에 달한다. 조상준 파크시스템스 전무는 “EUV 마스크가 워낙 고가이다보니, 결함이 생겼을 때 이를 리페어해 마스크 수명을 늘리고자 하는 수요가 생각보다 많았다”고 설명했다. 해당 리페어 장비는 파크시스템의 기존 주력장비인 AFM 장비에 비해 대당 가격이 2배가량 비싸다. AFM 기본 장비 가격은 대당 15억~30억원 수준이다. 따라서 이 장비 공급이 늘게 되면, 올해 회사 매출 신장에도 상당한 도움이 될 전망이다.  파크시스템스는 ‘Park NX-Mask’ 외에도 반도체 후공정 및 패키지 3D 측정에 사용되는 ‘NX-Hybrid WLI’ 장비 출고도 진행하고 있다. 최근 칩렛 등 3D 패키징 중요성이 커지면서 향후 매출 확대에 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 신규 장비 공급 및 AFM 수요 증가에 힘입어 파크시스템스은 올 1분기 매출 275억원을 기록했다. 전년동기 대비 54.3% 증가했다. 영업이익은 전년동기 대비 267.8% 증가했지만, 증권가의 전망치를 대폭 하회했다. 연구개발 인력 채용, 아큐리온 인수, 해외 판매 수수료 등의 1회성 비용이 영향을 끼친 것으로 추정된다. 2분기 및 하반기 실적도 견조한 흐름을 보일 것으로 예상된다. 파크시스템스의 올 1분기 기준 수주잔고는 전년동기대비 16% 증가한 735억원 규모다.  파크시스템스 관계자는 “신규 장비 및 AFM 장비에 대한 시장 수요가 증가하고 있어 올 1분기 수주잔고가 전년동기 대비 대폭 증가했다”며 “반도체 업황이 좋지 않지만 그럼에도 올해 30% 수준의 성장이 가능할 것으로 내부적으로 예상하고 있다“고 설명했다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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