네덜란드 장비 기업 ASM이 경기도 화성시에 1억달러(1300억원) 규모 R&D 센터 및 생산 시설을 짓는다. 해당 시설에서는 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비를 주로 생산할 예정이다. ASM은 23일 서울 강남 조선팰리스 호텔에서 기자간담회를 열고 한국 사업 전략과 투자 계획 등을 발표했다. ASM은 1968년 설립된 장비 기업으로 원자층증착(ALD) 장비 분야 관련 세계 1위 회사다. ALD 장비 외에도 에피택시, PEALD 등을 생산한다. ASM이 한국 시장에 처음 진출한 건 1989년으로, 1995년에는 한국 자회사 ASMK를 설립해 국내 반도체 기업 수요 대응에 나섰다. 2019년에는 경기도 화성 동탄에 화성캠퍼스(제조연구혁신센터)를 열고 PEALD 장비 R&D 및 생산을 진행하고 있다. 현재 ASMK에는 460가량이 근무하고 있다. 이날 발표한 제2연구혁신센터도 PEALD 장비 R&D 및 생산에 활용될 계획이다. 회사 측은 완공 시 기존 시설 대비 R&D 면적은 2배, 생산 면적은 3배로 늘어날 것이라고 밝혔다. 또 향후 3~5년 동안 200명가량을 추가 채용하겠다고 밝혔다. 제2연구혁신센터는 2025년 완공 예정이다. PEALD는 원자층 두께로 매우 얇은 박막을 웨이퍼에 덮을 수 있는 장비다. 이전에는 D램 패터닝 공정에 주로 사용됐으나, 최근 낸드플래시 뿐만 아니라 비메모리 제조 공정에도 확대 적용되고 있다. 벤자민 로 ASM CEO는 “PEALD 장비 수요가 지속적으로 증가하고 있으며, 고객사의 확충 요청 등이 있어 추가 투자를 결정하게 됐다“고 밝혔다. ASM은 제2연구혁신센터 외에도 지속적인 국내 투자 확대를 약속했다. 회사 측은 이번 투자가 글로벌 반도채 수요 증가에 대응하기 위한 중요한 확장 전략의 출발점이라며 연구 및 제품 개발 인프라를 강화하고 생산 역량을 더욱 향상시키기 위한 첫 발걸음이라고 강조했다. ASM은 이번 투자를 통해 엔지니어링, 연구 개발 및 제조 분야에서의 국내 인재 양성과 인력 개발에도 힘쓸 계획이다. 로 CEO는 “이번 투자는 단순히 시설을 확장하는 것 이상의 의미가 있다”며 “한국에서 지속적으로 첨단 기술을 개발해, 세계적 수준의 반도체 혁신을 이끌 수 있도록 계속 지원해 나갈 것”이라고 말했다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
《반도체·디스플레이·배터리·자동차전장·ICT부품 분야 전문미디어 디일렉》