저스템이 마이크론 기술혁신센터에서 지난 6월말 진행된 N2 로드포트모듈(LPM) 장비평가를 성공적으로 마쳤다고 8일 밝혔다. N2 LPM은 반도체 공정 중 웨이퍼를 보관하고 이동하는 FOUP의 내부 습도를 제어하고 불순물을 제거해 수율을 향상시키는 장비다. 저스템은 지난 2019년부터 마이크론 일본, 대만, 싱가포르 등 팹에 N2 LPM을 공급 중이다. 회사는 이번 장비 평가에 대해 아이다호주 보이시에 건설될 신규 라인에 적용하기 위한 최종 검토 차원으로 판단된다고 설명했다. 김용진 저스템 CTO "2025년 이후에는 보이시공장이 주요 생산라인이 될 것이므로 현지에서 테스트를 성공적으로 마친 만큼, 향후 지속적으로 물량을 공급할 수 있을 것으로 보인다"고 말했다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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