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파크시스템스가 극자외선(EUV) 마스크 리페어 장비 'NX-Mask'를 세계 최대 파운드리 업체에 추가 공급한다. 전공정·후공정 계측 장비 'NX-Hybrid WLI'도 중국 시장을 뚫었다. 신규 장비 수주 러시로 새로운 성장 모멘텀을 맞을 것으로 기대된다. 29일 업계에 따르면 파크시스템스가 지난 2분기 세계 최대 파운드리 기업로부터 EUV 마스크 리페어 장비 NX-Mask를 추가 수주받았다. 장비 제작 기간 등을 고려하면 올 하반기 출고될 것으로 보인다. 파크시스템스는 같은 고객사에 테스트 장비를 공급했고, 지난 1분기 이 장비 매출을 처음 반영했다. 파크시스템스의 NX-Mask는 원자현미경(AFM) 기술을 기반으로 개발됐다. AFM을 통해 EUV 마스크 결함을 검출하고, 장비에 장착된 팁을 이용해 파티클을 제거하는 방식으로 리페어를 진행한다. 심자외선(DUV) 마스크에서 사용되던 습식 클리닝 방식이 30nm 이하 패턴에서 사용하기 어려워지면서 개발된 방식이다. 업계에서는 파크시스템스의 마스크 리페어 신사업이 본궤도에 올랐다고 평가하고 있다. 주요 고객이 테스트 장비 구매 후, 추가로 장비 구매를 시작했기 때문이다. 또 삼성전자, TSMC, 인텔 등 파운드리 기업들의 선단 공정 투자가 증가하고 있다는 점도, 마스크 리페어 장비 수요를 견인할 것으로 예상된다.  류형근 삼성증권 연구원은 파크시스템스의 NX-Mask 장비에 대해 "신규 파운드리 고객의 리핏 오더가 나타나고 있고, 기존 고객사향으로도 추가 수주에 대한 논의가 지속되고 있는 것으로 판단된다"고 설명했다. 또 다른 신규 장비인 NX-Hybrid WLI는 중국 고객사에 공급됐다. 올해 하반기 매출로 인식될 예정이다. 파크시스템스가 개발한 백색광 간섭계(WLI) 모듈과 AFM을 결합한 장비다. 반도체 전공정과 후공정 계측에 쓰인다. 올해 인식될 NX-Mask 매출과 NX-Hybrid WLI 매출을 합산하면 올해 전체 매출 중 10% 이상이 신규 장비군에서 발생할 것으로 추정된다. 증권업계에서는 올해 파크시스템스의 매출이 전년대비 10% 이상 성장할 것으로 전망한다. 에프앤가이드가 취합한 파크시스템스의 올해 실적 전망치는 매출 1704억원, 영업이익 375억원이다. 지난해와 비교해 각각 17.7%, 35,9% 증가한 수치다. 1분기말 수주 잔고(853억원)도 전년동기대비 16.0% 늘었다. 지난해 1분기말 수주 잔고는 735억원이었다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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