2024년 3분기 국내 반도체∙디스플레이 장비기업의 영업이익률은 ▲HPSP(52.7%) ▲한미반도체(47.6%) ▲넥스틴(41.5%) ▲주성엔지니어링(35.5%) ▲네오셈(31.6%) 순으로 높았다. 각자 분야에서 장비를 사실상 독점 공급 중인 기업 두 곳이 나란히 1, 2위에 이름을 올렸다.  26일 '디일렉'이 국내 주요 반도체∙디스플레이 장비기업 62곳의 3분기 실적을 분석한 결과 이들 5개 기업이 이익률 톱5를 차지했다. 올해 3분기 매출이 전년 동기보다 증가한 기업은 41곳이었다. 약 66%로, 10개 회사 중 7개꼴이었다. 지난해 3분기 77%의 기업이 매출 감소를 겪은 것과는 대조적이다.  매출 1000억원 이상을 기록한 업체는 11곳으로, 지난해 8개 업체였던 것과 비교해 3곳이 늘어났다. ▲세메스(5722억원) ▲에스에프에이(4505억원) ▲탑엔지니어링(2171억원) ▲한미반도체(2085억원) ▲원익IPS(1846억원) ▲주성엔지니어링(1472억원) ▲케이씨(1450억원) ▲뉴파워프라즈마(1286억원) ▲제우스(1250억원) ▲피에스케이(1180억원) 등이다. 

---

장비사들에 50%가 넘는 영업이익률은 ‘꿈의 숫자’라고 불린다. HPSP의 올해 3분기 영업이익률은 52.7%다. 올해 3분기 매출은 497억원, 영업이익은 262억원을 기록했다. 전년 동기와 비교해 각각 18.6%, 21.3% 올랐다. 
 
HPSP는 대만의 TSMC를 비롯한 글로벌 메모리 3사 모두에 고압 수소 어닐링 장비(HPA; High Pressure Annealing)를 납품한다. ‘고압 솔루션 제공자(HPSP; High Pressure Solution Provider)’라는 이름에서부터 그 정체성이 잘 드러난다. 상대적으로 낮은 온도에서 높은 압력으로 어닐링을 하는 기술이다. 어닐링은 반도체 소자 내부의 계면 결함을 제거해, 전류와 집적회로의 성능을 높인다.

사실상 HPSP가 독점 납품 중인 HPA 시장은 예스티의 등장으로 균열이 갈지 주목받는다. HPA 후발주자인 예스티는 2019년 장비 개발을 시작, 2021년 개발을 끝냈다. 2023년 HPSP는 예스티가 자사의 특허를 침해했다는 소송을 제기했다. 예스티는 최근 열린 투자자 대상 기업설명회(IR)에서 특허 소송 중에도 고객사와의 장비 퀄 테스트를 이어가겠다는 뜻을 밝혔다. 소송 결과는 빠르면 내년 3월 말에서 4월 사이 나온다. 

영업이익률 47.6%로 2위를 기록한 한미반도체 역시 ‘사실상 독점 지위’를 엎고 순위에 올랐다. 한미반도체는 SK하이닉스향 고대역폭메모리(HBM)용 열압착 장비(Thermal Compression Bonder) 시장을 장악 중이다. 올해 3분기 매출은 2085억원, 영업이익은 993억원을 올렸다. 전년 동기보다 각각 568.3%, 3324.14% 증가한 수치다. 

TC본더는 여러 개의 디램을 수직으로 쌓아올리는 HBM 제조 공정에서 반드시 필요하다. 시장은 내년 2파전이 될 수도, 3파전이 될 수도 있다. SK하이닉스가 한미반도체 장비의 의존도를 낮추려는 움직임을 보이고 있기 때문이다. SK하이닉스는 싱가포르의 ASMPT에 수십여 대 TC 본더를 주문한 것으로 알려졌다. 한화정밀기계의 장비 또한 SK하이닉스의 퀄 테스트를 받고 있다. 

3위 넥스틴은 중국향 수출 물량이 늘었다. 넥스틴의 올해 3분기 매출 347억원 중 중국에서 발생한 매출은 304억원이다. 지난해 3분기 중국에서 발생한 매출 규모는 102조원이다. 294% 늘어났다. 

4위 주성엔지니어링 역시 중국향 수출 물량이 크게 늘며 상위권을 지켰다. 3분기 매출 1472억원 중 1274억원이 중국에서 발생했다. 약 87%정도다. 

다만 중국 반도체 업계가 정부의 전폭적인 지원으로 장비 국산화에 사활을 걸고 있어, 향후 귀추를 주목해야 한다는 시각도 있다. 중국의 반도체 산업 육성을 위한 투자 기금인 ‘빅펀드’는 올해 상반기 3440억위안(약 64조원) 규모로 조성됐다. 역대 최대로, 1기(약 25조원)와 2기(약 36조원)를 합한 것보다 많다. 네덜란드의 ASML, 일본의 도쿄일렉트론 등 글로벌 장비사들의 최근 실적에서는 우려가 현실로 드러나기도 했다. 

5위 네오셈은 올해 3분기 역대 최대 매출을 달성했다. 332억원으로, 전년 동기 대비 62.7% 늘었다. 영업이익은 105억원이다. 전년 동기 대비 2000% 증가했다. 

PCIe(Peripheral Component Interconnect Express) Gen 5.0 솔리드스테이트드라이브(SSD) 테스트 장비 매출이 크게 늘었다. 장비를 납품하는 기업은 일본의 어드반테스트와 네오셈뿐이다. 네오셈은 컴퓨트익스프레스링크(CXL) 2.0 메모리 검사 장비를 공급하는 유일한 기업이기도 하다.  번인 테스터의 매출 또한 크게 늘어난 것으로 알려졌다. 반도체 소자를 장시간 동안 고온∙고전압∙고주파에서 동작시켜 제품의 초기 결함을 검출하는 장비다. 인공지능(AI) 서버 투자 확대에 따라 더블데이레이트(DDR) 5 DIMM(Double Inline Memory Module) 검사 장비 매출도 늘었다. PC, 서버, 데이터센터 등에서 사용되는 D램 기반의 메모리 모듈을 테스트한다.  

디일렉=이선행 기자 [email protected]
《반도체·디스플레이·배터리·전장·ICT·게임·콘텐츠 전문미디어 디일렉》