반도체 장비 제조기업 저스템이 자사의 2세대 습도제어장비 ‘JFS(Justem Flow Straightener)’가 최근 500대 공급을 돌파했다고 26일 밝혔다.  저스템은 공식 출시 10개월 만에 달성한 성과임을 주목했다. 기존 1세대 습도제어장비 ‘N2 PURGE’보다 빠르게 양산됐다. 향후 지속적으로 글로벌 시장에서 영향력을 확대하는 것이 목표다. 저스템은 “글로벌 종합 반도체 기업 M사에 JFS 500대를 공급했고, 수주 확대를 기대하고 있다"며 "글로벌 반도체 기업 A사와도 현재 제품 적용 여부를 협의 중”이라고 말했다.  JFS는 클린룸에서 웨이퍼를 운반하는 용기인 풉(FOUP)의 내부 습도를 1% 이하까지 제어해 수율을 높이는 데 도움을 주는 장비다. 풉에서 웨이퍼를 꺼낼 때 사용하는 장비인 EFEM(Equipment Front End Module)에 바로 설치할 수 있어 시간과 비용을 절감할 수 있다. 저스템이 3여년의 연구개발 끝에 원천 특허를 확보하고 자체 개발했다. 김용진 저스템 최고운영책임자(COO) 사장은 “저스템이 세계 최초로 개발한 습도제어장비 ‘N2 PURGE’는 2016년 출시 이후 반도체 제조 공정에서 꼭 필요한 장비로 자리매김했다. 2세대 JFS 솔루션 역시 표준 솔루션이 될 것으로 기대한다”고 말했다.