지난달 반도체 제조 장비의 리드타임(발주부터 납품까지의 소요시간)이 평균 14개월로 늘어난 것으로 확인됐다. 사상 최장 기록이다. 반도체 슈퍼사이클(호황)을 앞두고 시설투자 증가로 수요가 대거 몰린 결과다. 반도체 공급부족(숏티지)이 장기화되면서 일부 업체는 장비제조에 쓰이는 반도체를 구하지 못해 생산을 미루는 일도 벌어지고 있다. 3일 반도체 장비 업계에 따르면 예년의 경우 평균 3~6개월이던 반도체 장비의 리드타임이 올해 1분기 10개월 전후로 늘었다가 7월에는 평균 14개월까지 늘어났다. 일부 업체의 경우 리드타임이 2년 이상인 장비까지 있는 것으로 파악됐다. 비교적 납기일이 짧은 전공정 장비의 리드타임도 1년을 넘어섰다. 업계 관계자는 "장비 리드타임은 몇 달 전보다 더 늘어나 현재 최고점을 찍은 상태"라고 말했다. 본지가 업체별 장비 평균 리드타임을 취합한 결과, 지난 7월 기준으로 네덜란드 노광장비 업체인 ASML의 불화아르곤(ArF) 장비는 24개월, i-라인 장비는 18개월, 7나노 미만 공정의 핵심 장비인 극자외선(EUV) 장비는 18개월을 기록했다. 일본 후공정 장비 업체인 디스코의 리드타임은 12~15개월로 조사됐다.  특히 8인치(200mm) 장비의 수급이 가장 어려운 상태다. 지난해부터 8인치 파운드리 부족 현상이 일어나면서 장비 주문이 몰렸기 때문이다. 주요 업체의 8인치 장비의 평균 리드타임을 살펴보면, KLA 오버레이 장비 14개월, 에바라 14개월, 어플라이드머티어리얼즈(AMAT) 13개월을 기록했다. 이 밖에 도쿄일렉트론(TEL), 히타치하이테크, 고쿠사이일렉트릭, 어드반테스트, 스크린, 쿨리케앤소파(KNS) 등의 평균 리드타임은 12개월 전후로 나타났다. 바리안과 에드워드의 리드타임은 10개월인 것으로 조사됐다. 중국 업체의 와이어본더 장비도 리드타임이 5개월 이상으로 늘었다.  더그 베팅거 램리서치 최고재무책임자(CFO)는 지난 6월 뱅크오프아메리카의 글로벌 기술 컨퍼런스에서 "램리서치의 반도체 장비 리드타임이 현재 지연된 상황을 인정한다"며 "반도체 시설투자가 예상보다 많아지면서 전례 없는 반도체 장비 수요로 이어졌다"고 밝혔다. 리드타임이 급속도로 늘어나는 건 반도체 장비의 수요가 급증했기 때문이다. 또한 반도체 공급부족이 장비용 칩 조달에 영향을 주면서 일부 반도체 장비 생산에도 차질이 생기는 것으로 알려졌다. 업계 관계자는 "최근 반도체 장비 업체들은 프로그래머블반도체(FPGA) 등의 부품들을 확보하지 못해 반도체 장비를 만들지 못하는 경우도 있다"며 "그 정도로 반도체 숏티지가 전산업에 걸쳐서 심각한 상황"이라고 말했다. 반도체가 부족해서 장비를 늘려야 하는데, 장비 제조에 들어가는 반도체가 없어서 장비를 만들지 못하게 된 아이러니한 상황이다. 이같은 반도체 장비 공급 부족에 따라 비교적 납기일이 짧은 중고 장비 수요가 늘어나는 현상도 나타나고 있다. 중고 반도체 장비는 이전 장비에서 이른바 '코어'를 가져와서 사용 가능한 시스템으로 개조하는 식으로 제작한다. 특히 8인치 중고 장비 수요가 급격히 늘어난 상태다. 시장조사업체 VLSI리서치에 따르면 올해 상반기 중고 장비 가격은 평균 20% 이상 오른 것으로 조사된다. 반도체 장비업체의 리퍼비시 장비 판매량도 급증했다. 리퍼비시는 기존에 판매한 레거시(후행 공정 노드) 장비를 수거해 업데이트해서 재판매하는 사업이다. 램리서치는 올해 2분기 실적 발표에서 리퍼비시 사업부인 CSBG 매출이 1년 전 예상보다 기대 이상으로 성장해 2분기 14억달러로 사상 최대를 기록했다고 밝힌 바 있다. 

반도체 장비 수요 증가와 공급부족은 당분간 지속될 예정이다. 지난 3월 반도체장비재료산업협회(SEMI)에 따르면 전세계 반도체 장비 투자액은 올해 전년 보다 15.5% 성장해 700억달러(약 78조2040만원)을 넘어설 전망이다. 내년에는 올해보다 12% 상승해 800억달러(약 89조3760억원) 이상을 기록할 것으로 전망된다.