AFM(원자현미경) 장비 전문업체 파크시스템스가 EUV(극자외선) 마스크 리페어 장비 사업에서 호조세를 보이고 있다. 이 장비는 지난해 12월 출시한 신규 장비다. EUV 마스크 위의 파티클을 제거해 마스크의 수명을 늘리는 역할을 한다. 파크시스템스는 지난해 말 이 장비를 공식 출시하기도 전에 국내외 대형 고객사로부터 10대를 수주하는 성과도 냈다. 올해 추가 수주도 기대하고 있다. 신규 장비 사업 호조로 올해 매출 30% 성장이라는 목표 달성에도 청신호가 켜졌다는 관측이다.  14일 업계에 따르면 파크시스템스는 국내외 주요 반도체 고객사로부터 EUV 마스크 리페어 장비를 총 10대 수주받았다. 'Park NX-Mask'라는 이름의 이 장비는 파크시스템스의 기존 AFM 기술을 토대로 개발한 신규 장비다. AFM은 미세한 탐침을 시료 표면에 원자 단위까지 접근시키고, 탐침과 표면 간의 상호작용을 통해 시료의 구조를 측정하는 장비다. EUV마스크 리페어 장비는 이같은 기술을 응용해 EUV 마스크 위의 파티클과 범프 등을 제거하는 장비다. 장당 억대를 호가하는 EUV 마스크 상의 결함을 제거해 마스크 수명을 더 늘리는 효과를 낼 수 있다. 파크시스템스가 이 장비를 개발한 건 대만 T사의 요청에 의해서다. 장비 개발에 성공한 이후, T사 등 국내외 주요 고객사로부터 선주문도 받았다. 지난해 12월 Park NX-Mask 출시 전까지 8대의 장비 수주를 받았으며, 올해 초까지 수주량을 10대로 늘리는 데 성공했다. EUV 마스크 리페어 장비 사업이 지속 순항하는 경우 파크시스템스의 반도체 산업용 장비 매출은 크게 증가할 것으로 전망된다. Park NX-Mask는 기존 파크시스템스의 AFM 장비 대비 제품 가격이 2배가량 높다. AFM 기본 장비 가격은 대당 15억~30억원 수준으로 알려져 있다. 실제로 파크시스템스는 Park NX-Mask 외에도 'NX-Hybrid WLI', 'NX-TSH' 등 신규 반도체·디스플레이 계측장비를 납품하면서 지난해 호실적을 기록한 바 있다. 파크시스템스의 지난해 매출은 1121억원으로 전년대비 43%, 영업이익은 312억원으로 전년 대비 77% 급증했다. 올해에도 30%대의 매출 성장세를 올릴 수 있을 것으로 기대하고 있다. 이와 관련, 조상준 파크시스템스 전무는 최근 《디일렉》과의 인터뷰를 통해 "EUV 마스크가 워낙 고가에 속하다보니, 결함이 생겼을 때 이를 리페어해 마스크 수명을 늘리고자 하는 고객사의 수요가 생각보다 많았다"며 "실제 장비에 대한 테스트 결과도 좋아 국내외 주요 반도체 고객사로부터 지금까지 10대의 주문을 받았다"고 설명했다.

디일렉=장경윤 기자 [email protected]
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