디스플레이·반도체 기판 핸들링·이송 솔루션 업체 코어플로우가 기판 후면 자국을 없앨 수 있는 솔루션 '그립젯'을 개발했다고 15일 밝혔다.
정정주 코어플로우코리아 대표는 "그립젯은 공정 중 휜 웨이퍼나 기판을 일래스토머(Elastomer)나 소프트패드 없이도 잡고(그리핑) 평탄화할 수 있는 기술"이라며 "일래스토머 등이 없어서 기판 후면에 자국이 남지 않는다"고 설명했다. 이어 "그립젯 기술은 유리기판과 실리콘 웨이퍼, 인쇄회로기판(PCB) 등 다양한 기판에 적용할 수 있다"고 덧붙였다.
그립젯은 코어플로우의 선택적 진공(Selective Vacuum) 솔루션과 함께 사용할 수 있다. 정정주 대표는 "스테이지에 선택적 진공 기술을 적용하면 기판으로 덮이지 않은 진공 홀이 있어도 진공 누출을 최소화하고, 기판으로 덮인 영역의 홀에서 진공력으로 기판 처킹(chucking)이 가능하다"며 "기판으로 덮이지 않는 홀에 별도 마스킹을 하지 않아도 된다"고 밝혔다. 또 "다양한 크기와 형상의 여러 기판을 한번에 처킹할 수도 있다"는 설명도 덧붙였다.
코어플로우 핵심 기술은 공기·가스·액체를 정밀 제어해서 기판 아래에 에어 쿠션을 안정적으로 형성하는 '스마트 노즐' 기술이다. 또 유리기판이 스테이지 위에서 이동하거나, 스테이지 사이 이음새를 지날 때 기판 앞부분과 뒷부분(edge)이 스테이지에 닿지 않도록 해당 부분만 위로 살짝 띄우는 '코브라 모션' 기술도 대표 기술이다.
디스플레이 장비용 솔루션은 잉크젯 프린터와 슬릿 코터, 자외선(UV) 경화기, 유리검사장비(AOI), 레이저 가공 등에 적용됐다. 반도체 장비용 솔루션은 비접촉·선택적 진공 척과 선택적 진공 엔드 이펙터 등에 사용됐다. 비접촉 척은 웨이퍼와 척의 접촉에 따른 파티클 발생을 방지한다. 선택적 진공 척과 엔드 이펙터는 최대 10mm 휨이 있는 웨이퍼 핸들링이 가능한 솔루션이다.
한국과 미국, 일본 등에 있는 주요 디스플레이·반도체 장비업체가 고객사다. 정정주 대표는 "코어플로우가 고객사에 납품한 솔루션은 누적 기준 1000여대에 달한다"고 밝혔다.
코어플로우는 지난 1999년 이스라엘에서 설립됐다. 코어플로우는 이스라엘 다게시(Dagesh) 그룹이 지분 70%를 보유한 비상장사다. 코어플로우의 나머지 지분 30%는 미국 투자자가 보유하고 있다.
코어플로우코리아는 지난 2021년 설립됐다. 한국과 일본의 디스플레이·반도체 장비업체 대응력 강화 차원이다. 코어플로우코리아에서 신기술이나 응용기술 개발을 이스라엘 본사에 제안할 수 있다. 코어플로우코리아의 올해 매출 목표는 40억원이다. 지난해 반기 기준 28억원 매출을 올린 바 있다. 지난해 6월부터 제품을 생산하기 시작했다.
